【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及例如在各配线之间具有空隙的摄像元件和摄像元件制造方法。
技术介绍
1、在半导体装置中，随着半导体集成电路元件的小型化，连接在各元件之间和各元件内部的配线的间隔变得更小。鉴于此，例如，专利文献1公开了一种在配线之间具有空隙(气隙)以减少各配线之间的电容的半导体装置。
2、引用文献列表
3、专利文献
4、专利文献1：日本待审查专利申请公开第2008-193104号
技术实现思路
1、同时，近年来，层叠型图像传感器变得越来越普遍，并且期望减少配线电容。
2、期望提供一种能够减少配线电容的摄像元件和摄像元件制造方法。
3、根据本公开的一个实施方案的摄像元件包括：配线层，其包括沿着一个方向延伸的多个配线；阻挡膜，其层叠在所述配线层上，并且具有在所述多个配线中的一者上方的端面；第一绝缘膜，其层叠在所述配线层和所述阻挡膜上；第一空隙，其通过所述第一绝缘膜设置在彼此相邻的所述多个配线之间；和第二空隙，其设置在所述第一空隙上方。
<...【技术保护点】
1.一种摄像元件，包括：
2.根据权利要求1所述的摄像元件，其中
3.根据权利要求1所述的摄像元件，还包括第二绝缘膜，所述第二绝缘膜设置在所述第一绝缘膜与所述阻挡膜之间并且连续地覆盖所述多个配线的上表面和侧表面。
4.根据权利要求1所述的摄像元件，还包括第三绝缘膜，所述第三绝缘膜设置在所述第一绝缘膜上，其中
5.根据权利要求4所述的摄像元件，其中
6.根据权利要求4所述的摄像元件，其中
7.根据权利要求1所述的摄像元件，其中
8.根据权利要求7所述的摄像元件，其中
9.根据...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种摄像元件，包括：
2.根据权利要求1所述的摄像元件，其中
3.根据权利要求1所述的摄像元件，还包括第二绝缘膜，所述第二绝缘膜设置在所述第一绝缘膜与所述阻挡膜之间并且连续地覆盖所述多个配线的上表面和侧表面。
4.根据权利要求1所述的摄像元件，还包括第三绝缘膜，所述第三绝缘膜设置在所述第一绝缘膜上，其中
5.根据权利要求4所述的摄像元件，其中
6.根据权利要求4所述的摄像元件，其中
7.根据权利要求1所述的摄像元件，其中
8.根据权利要求7所述的摄像元件，其中
9.根据权利要求1所述的摄像元件...
【专利技术属性】
技术研发人员：桥口日出登，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：
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