衍射波导组件制造技术

本技术提供了一种衍射波导组件。衍射波导组件包括：基底结构；光栅结构，光栅结构包括多个，多个光栅结构呈周期设置在基底结构的表面上，一个光栅结构沿与基底结构平行的方向包括至少两个折射率不同的子光栅，且两个折射率不同的子光栅之间的边界线与基底结构之间呈角度设置。本技术解决了现有技术中的衍射波导组件存在衍射效率低和不同视场角的衍射效率均匀性差的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及衍射光学设备，具体而言，涉及一种衍射波导组件。

技术介绍

1、随着衍射光学领域的不断发展，虚拟现实vr、增强现实ar和混合现实mr逐渐进入人们的日常生活中。尤其在增强现实ar方面，各种各样的产品例如ar头戴式设备或者车载抬头显示设备由于其独特的虚拟显示效果广被消费者们所青睐。

2、目前，衍射波导组件作为增强现实ar的主流方案之一，对耦入、转折、耦出光栅元件的性能要求十分苛刻，但是目前衍射波导组件存在固有的缺陷，如衍射效率低、不同视场角的均匀性差。因此，提高特定级次衍射效率，同时提升全视场角的衍射效率均匀性是目前较为关键且较难克服的问题。

3、也就是说，现有技术中的衍射波导组件存在衍射效率低和不同视场角的衍射效率均匀性差的问题。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种衍射波导组件，以解决现有技术中的衍射波导组件存在衍射效率低和不同视场角的衍射效率均匀性差的问题。

2、为了实现上述目的，本技术提供了一种衍射波导组件，包括：基底结构；光栅结构，光栅结构包括多个，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种衍射波导组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，所述两个折射率不同的子光栅的折射率差小于等于1.2。

3.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，相邻两个折射率不同的所述子光栅之间的边界线(24)与所述基底结构(10)的厚度方向之间的夹角大于-45°且小于45°，以使得所述子光栅沿垂直于所述基底结构(10)的截面形状为矩形、梯形和三角形中的一种。

4.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，相邻两个所述子光栅之间的高度差大于等于0nm且小于等于300nm。

5.根据权利要求1所述的衍射...

【技术特征摘要】

1.一种衍射波导组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，所述两个折射率不同的子光栅的折射率差小于等于1.2。

3.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，相邻两个折射率不同的所述子光栅之间的边界线(24)与所述基底结构(10)的厚度方向之间的夹角大于-45°且小于45°，以使得所述子光栅沿垂直于所述基底结构(10)的截面形状为矩形、梯形和三角形中的一种。

4.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，相邻两个所述子光栅之间的高度差大于等于0nm且小于等于300nm。

5.根据权利要求1所述的衍射波导组件，其特征在于，一个所述子光栅沿垂直于所述基底结构(10)的截面面积与其所在的所述光栅结构(20)沿垂直于所述基底结构(10)的截面面积的比值大于等于10％且小于等于90％。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的衍射波导组件，其特征在于，一个所述光栅结构(20)沿与所述基底结构(10)平行的方向由两个折射率不同的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李洋，高一峰，尹正坤，
申请(专利权)人：舜宇奥来微纳光电信息技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：