用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备制造方法及图纸

本申请涉及一种用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备，该抬升装置包括第一驱动机构、传动机构和转接机构，传动机构的一端与第一驱动机构的输出轴传动连接，第一驱动机构驱动传动机构转动；转接机构的一端用于安装磁控管，转接机构的另一端与传动机构的另一端传动连接，且转接机构能够相对于传动机构沿第一方向滑动；转接机构包括丝杠滑块机构，丝杠滑块机构包括丝杠和滑块，丝杠与滑块传动连接，使得丝杠与滑块之间发生传动时，丝杠与滑块之间能够在第一方向上发生位移，磁控管与丝杠或滑块直接或间接连接，磁控管在第一方向上的滑动是在丝杠或滑块的直接或间接带动下进行的。本申请中的抬升装置可以准确的判断磁控管的位置。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体设备领域，尤其涉及一种用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备。

技术介绍

1、物理气相沉积的过程中，需要控制磁控管进行升降，用于补偿靶材的消耗。现有技术中对磁控管进行升降时，主要通过蜗轮蜗杆控制磁控管旋转，并控制磁控管升降，但是，蜗轮蜗杆的传动比较大，力矩传输距离较长，无法通过电机对磁控管所在的位置进行准确的判断。

2、因此，亟待一种新的抬升装置，以准确地判断磁控管所在的位置。

技术实现思路

1、本申请提供了一种用于准确抬升磁控管的抬升装置和半导体设备，该抬升装置可以准确的判断磁控管的位置。

2、本申请提供了一种抬升装置，抬升装置包括：第一驱动机构、传动机构和转接机构，传动机构的一端与第一驱动机构的输出轴传动连接，第一驱动机构驱动传动机构转动；转接机构的一端用于安装磁控管，转接机构的另一端与传动机构的另一端传动连接，使得传动机构在其转动时通过转接机构带动磁控管转动，且转接机构能够相对于传动机构沿第一方向滑动，使得与转接机构相连的磁控管在转接机构的带动下沿第一方向滑动；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抬升装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抬升装置，其特征在于，所述转接机构包括转接套、结构件和第一轴承，所述转接套的一端与所述传动机构的另一端传动连接，所述转接套的另一端用于安装所述磁控管，使得所述传动机构在其转动时通过所述转接套带动所述磁控管转动，且所述转接套能够沿所述第一方向相对于所述传动机构移动；

3.根据权利要求2所述的抬升装置，其特征在于，所述丝杠滑块机构包括对称设置于所述传动机构两侧的第一丝杠滑块机构和第二丝杠滑块机构；

4.根据权利要求3所述的抬升装置，其特征在于，所述结构件包括沿所述结构件的厚度方向贯穿所述结构件的...

【技术特征摘要】

1.一种抬升装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抬升装置，其特征在于，所述转接机构包括转接套、结构件和第一轴承，所述转接套的一端与所述传动机构的另一端传动连接，所述转接套的另一端用于安装所述磁控管，使得所述传动机构在其转动时通过所述转接套带动所述磁控管转动，且所述转接套能够沿所述第一方向相对于所述传动机构移动；

3.根据权利要求2所述的抬升装置，其特征在于，所述丝杠滑块机构包括对称设置于所述传动机构两侧的第一丝杠滑块机构和第二丝杠滑块机构；

4.根据权利要求3所述的抬升装置，其特征在于，所述结构件包括沿所述结构件的厚度方向贯穿所述结构件的第一安装口和第二安装口，所述第一滑块设置于所述第一安装口，所述第二滑块设置于所述第二安装口。

5.根据权利要求4所述的抬升装置，其特征在于，所述第一安装口的侧壁上设置有至少一对第一腰型孔，所述至少一对第一腰型孔分别在所述第一安装口的两个相对的侧壁上对称设置，第一连接件穿过所述第一腰型孔与所述第一滑块连接，使得在垂直于所述第一方向的方向上，所述第一连接件与所述第一腰型孔的内壁存在活动间隙。

6.根据权利要求4或5所述的抬升装置，其特征在于，所述第二安装口的侧壁上设置有至少一对第二腰型孔，所述至少一对第二腰型孔分别在所述第二安装口的两个相对的侧壁上对称设置，第二连接件穿过所述第二腰型孔与所述第二滑块连接，使得在垂直于所述第一方向的方向上，所述第二连接件与所述第二腰型孔的内壁存在活动间隙。

7.根据权利要求3~5任一项所述的抬升装置，其特征在于，转接套包括主套体、轴套和主轴，所述主套体的两端分别具有第一容纳腔和第二容纳腔，所述轴套的一端固定于所述第一容纳腔，所述轴套的另一端套设于所述传动机构的另一端，所述传动机构驱动所述轴套随所述传动机构转动，且所述轴套能够相对于所述传动机构沿所述传动机构的延伸方向滑动；

8.根据权利要求7所述的抬升装置，其特征在于，所述主套体的外周上设置有凸边；

9.根据权利要求8所述的抬升装置，其特征在于，所述抬升装置还包括定位块，所述定位块上设置有第二通孔，所述定位块固定于所述结构件朝向所述第一驱动机构的一侧，所述转接机构穿过所述第二通孔。

10.根据权利要求7所述的抬升装置，其特征在于，所述传动机构的周侧包括多个导向板，所述导向板沿所述第一方向延伸，所述轴套的内侧设置有多个导向槽，所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述多个导向槽与所述多个导向板一一对应设置，以使所述轴套能够相对于所述传动机构沿所述第一方向移动。

11.根据权利要求3~5任一项所述的抬升装置，其特征在于，所述抬升装置还包括支架，所述支架具有安装腔，所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构均设置于所述支架的顶板远离所述安装腔的一侧，且所述第一驱动机构、第二驱动机构和所述第三驱动机构包括的输出轴均穿过所述支架的顶板伸入所述安装腔。

12.根据权利要求11所述的抬升装置，其特征在于，所述抬升装置还包括第一定位板，第一定位板与所述支架的两个侧壁固定连接，所述第一定位板上设置有第一定位轴承和第二定位轴承，所述第一定位轴承和所述第二定位轴承的外圈与所述第一定位板固定连接，所述第一丝杠套设于第一定位轴承与所述第一定位轴承的内圈固定连接，所述第二丝杠套设于所述第二定位轴承与所述第二定位轴承的内圈固定连接，所述第一滑块和所述第二滑块位于所述第一定位板和所述顶板之间，所述第一定位板还包括用于避让所述转接机构的第一避让孔，所述转接机构通过所述第一避让孔穿过所述第一定位板。

13.根据权利要求12所述的抬升装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：昝少平，杨文亮，
申请(专利权)人：深圳市新凯来工业机器有限公司，
类型：发明
国别省市：