本发明专利技术公开一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备，涉及激光切割设备的技术领域，其中，物镜除尘冷却装置的吹气座设置有中通的吹气腔，吹气腔的腔壁上均布有多个第一吹气孔，第一吹气可通过外部气源向吹气腔内吹气，吹气座的一侧开设有连通吹气腔的排气缺口，排气缺口沿吹气腔的长度方向设置，以排出由第一吹气孔吹出的气体。该物镜除尘冷却装置通过将物镜及相关部件置于吹气座的吹气腔内，以使物镜及相关部件能够得到均匀冷却的同时，从而有效避免物镜积尘的情况，避免了对激光切割效率以及精度的影响。高温且伴随有粉尘的气体可从吹气座一侧所开设的排气缺口高效地排出吹气腔，也提高了物镜及相关部件的散热效果以及除尘效果。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光切割设备的，尤其涉及一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备。
技术介绍
1、晶圆激光切割设备是一种利用激光束的热能实现切割的设备，主要用于将板材切割成所需形状工件。
2、激光切割设备在切割过程中会产生固态粉尘，这主要是由激光束与工件材料的相互作用造成的，激光能量在照射到工件表面时会被吸收，导致局部区域的温度急剧升高，达到熔点后，材料开始熔化并产生熔融物，在熔融物冷却的过程中，则会形成固态的粉尘。
3、随着加工载台的频繁移动，所造成的粉尘易集聚于激光出光口的物镜表面上，使得激光切割效率大大降低，并且，由于激光的持续性输出，粉尘在物镜上的集聚现象会导致物镜本身处于高温状态，进而影响物镜的使用寿命。
技术实现思路
1、本专利技术实施例的目的在于：提供一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备，解决物镜积尘和局部散热缓慢的问题，确保晶圆切割设备的加工精度和效率。
2、为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
>3、第一方面，提供本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，各所述第一吹气孔(111)均朝向所述排气缺口(112)设置。
3.根据权利要求1所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，所述吹气座(10)内设有中空的第一气腔(113)，所述第一气腔(113)的一侧用于通过第一进气口(114)与外部环境连通，各所述第一吹气孔(111)分别与所述第一气腔(113)的另一侧连接；
4.根据权利要求1-3任一项所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的物镜除尘冷却装置，其特...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，各所述第一吹气孔(111)均朝向所述排气缺口(112)设置。
3.根据权利要求1所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，所述吹气座(10)内设有中空的第一气腔(113)，所述第一气腔(113)的一侧用于通过第一进气口(114)与外部环境连通，各所述第一吹气孔(111)分别与所述第一气腔(113)的另一侧连接；
4.根据权利要求1-3任一项所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的物镜除尘冷却装置，其特征在于，所述支撑封板(20)内开设有气流通道(23)，所述气流通道(23)一端用于通过第二进气口(231)连接外部气源，所述气流通道(23...
【专利技术属性】
技术研发人员：马林，陈万群，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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