一种蒸镀机接触板平坦度判断装置制造方法及图纸

本技术公开了一种蒸镀机接触板平坦度判断装置，涉及蒸镀机技术领域。在掩模板框架和接触板的接触面分别均匀设置多个凹槽，槽内粘贴上金属薄片，金属薄片表面不高于贴合面，再通过导线搭接各金属片，掩膜板框架上的导线通过设置在底面的集成块与掩膜板载台上设置的弹性支撑的探针组件搭接导通，掩模板框架内的第一金属薄片与接触板内的第二金属薄片组成一电容，通过电容测量单元测量每组电容值，即可通过对比不同位置电容大小判定接触板平坦度。本技术的技术方案可极大节省人力缩短测量时间，提高接触板平坦度测量效率，减少因接触板平坦度欠佳导致玻璃基板局部压强过大造成的破片、裂纹及缺角等问题，提高稼动率及生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀机，具体涉及一种蒸镀机接触板平坦度判断装置。

技术介绍

1、有机发光二极管(oled)因具有自发光、轻薄、宽视角、高响应等特点，成为现有显示面板的研究热点。oled显示屏一般通过真空蒸镀技术制备，即在真空腔环境下，材料蒸汽透过掩膜板沉积在基板上。蒸镀前需先将玻璃基板与掩膜板进行对位，以便材料准确沉积到对应的rgb子像素上，以免出现混色或色不均等不良。现有的蒸镀机对位机构一般包括磁板、接触板(touchplate)、ccd、抬片机构(hook)等。其中接触板利用本身自重将玻璃基板压在掩膜板上，最后磁板吸附掩膜板上的掩膜条并带起基板与接触板平整贴合，达到最终成膜对位状态。

2、接触板要求需非常平坦才能使掩膜条与玻璃基板完全贴合，但在使用时易出现倾斜，或者边缘与掩模板框架压合处易形变等平坦度不佳问题，接触板下压玻璃基板时，可能出现接触板倾斜与基板线接触，或者本身微小形变导致与玻璃基板单点接触(如图1所示)，因接触板自重较大下压时存在较大的势能，以上情况极易导致基板局部承受过大压强出现破片、裂纹及缺角等异常，破片时则需停机进行处理，极大影本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀机接触板平坦度判断装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探针组件包括：

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，一所述弹性单元包括：

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述掩膜板框架还包括多个导线槽，用于容纳连接第一金属片和导线集成块的导线。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述接触板还包括多个导线槽，用于容纳连接第二金属片的导线。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述接触板上还设...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀机接触板平坦度判断装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探针组件包括：

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，一所述弹性单元包括：

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张麒麟，林志斌，吴晟远，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：