一种高效背结电池结构及其制备方法技术

本发明专利技术涉及光伏技术领域，具体为一种高效背结电池结构及其制备方法。电池本体从正面至背面依次包括正面金属栅线、正面氮化硅减反膜层、N型硅片基底、背面隧穿氧化层、背面氧化铝钝化膜层、背面氮化硅减反膜层和背面金属栅线。正面金属栅线与正面氮化硅减反膜的两壁之间设有掺磷多晶硅层。背面隧穿氧化层和背面氧化铝钝化膜层之间设有掺硼多晶硅层。正面金属栅线与掺磷多晶硅层钝化接触，且背面金属栅线与掺硼多晶硅层钝化接触。本发明专利技术降低了金属与半导体接触带来的复合损失，正面形成Poly‑finger结构，提高电池片转化效率；减少了一道高温硼扩散程序，降低了额外热损伤、减少了工艺制程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏，具体为一种高效背结电池结构及其制备方法。

技术介绍

1、随着topcon电池产能不断增加，从无se的topcon1.0到se工艺加持的topcon2.0，技术路线不断升级，效率也从24.5％上升到26.0％，但这距离topcon电池的理论极限28.7％仍有一定距离，通过对效率损失分析，发现topcon电池的主要损失来源于正面的接触复合损失，这是由于topcon电池的正面接触结构为金属-半导体接触，正面银栅线与硅片基体直接接触，在接触面处生成一个较宽的电荷耗尽区，带来了巨大的复合损失，因此越来越多的厂家把目光放在了如何降低正面复合损失上，poly-finger结构被认为是未来topcon电池下一步的技术升级路线。

2、例如，公布号为cn117117038a的中国专利公开了一种topcon电池结构及其制备方法，记载了在n型电池片正面采用图形化掩膜、碱刻蚀阻挡层、配合碱刻蚀的方法在正面形成图案化的poly-finger结构的topcon结构。又例如另外一篇，公布号为cn114695573a的中国专利公开了一种钝化接触栅线的太阳能电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效背结电池结构，包括电池本体（1），所述电池本体（1）从正面至背面依次包括正面金属栅线（2）、正面氮化硅减反膜层（5）、N型硅片基底（6）、背面隧穿氧化层（7）、背面氧化铝钝化膜层（9）、背面氮化硅减反膜层（10）和背面金属栅线（11），所述正面氮化硅减反膜层（5）上开有若干槽一适于安装所述正面金属栅线（2），所述正面金属栅线（2）与所述正面氮化硅减反膜的槽一两壁之间设有掺磷多晶硅层（3），及所述正面金属栅线（2）与所述正面氮化硅减反膜的槽一底部之间设有正面隧穿氧化层（4），其特征在于，所述电池本体（1）的背面隧穿氧化层（7）和所述背面氧化铝钝化膜层（9）之间还设有掺硼多晶硅层...

【技术特征摘要】

1.一种高效背结电池结构，包括电池本体（1），所述电池本体（1）从正面至背面依次包括正面金属栅线（2）、正面氮化硅减反膜层（5）、n型硅片基底（6）、背面隧穿氧化层（7）、背面氧化铝钝化膜层（9）、背面氮化硅减反膜层（10）和背面金属栅线（11），所述正面氮化硅减反膜层（5）上开有若干槽一适于安装所述正面金属栅线（2），所述正面金属栅线（2）与所述正面氮化硅减反膜的槽一两壁之间设有掺磷多晶硅层（3），及所述正面金属栅线（2）与所述正面氮化硅减反膜的槽一底部之间设有正面隧穿氧化层（4），其特征在于，所述电池本体（1）的背面隧穿氧化层（7）和所述背面氧化铝钝化膜层（9）之间还设有掺硼多晶硅层（8）；所述电池本体（1）的正面金属栅线（2）适于与所述掺磷多晶硅层（3）钝化接触，及所述电池本体（1）的背面金属栅线（11）适于与所述掺硼多晶硅层（8）钝化接触。

2.根据权利要求1所述的高效背结电池结构，其特征在于，所述电池本体（1）的n型硅片基底（6）的正面为poly-finger结构，所述poly-finger结构为由磷扩散形...

【专利技术属性】
技术研发人员：费宇，何亮，李德平，武丹萍，徐闯，金强强，
申请(专利权)人：润马光能科技金华有限公司，
类型：发明
国别省市：