【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉，具体涉及一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构。
技术介绍
1、由于晶体生长工艺的要求，很多单晶炉的炉室分为上下两部分，上面为副室，下面为主室，在主副室之间必须设置翻板阀控制两者开通或隔断，两种动作都需要翻板阀轴旋转，带动阀板开启或关闭，在此过程中阀轴与炉壁接口的密封性能对晶体生长质量影响很大。
2、如图1所示，炉壁接口处设有翻板阀轴承3和与其焊接熔合的内壁2及外壁1，内外壁之间有水夹层。现有密封结构多在翻板阀轴承3上开密封槽，加工时以轴承端面找正，也就是说密封槽中心线与轴承端面垂直可以保证，缺点是翻板阀轴4装配后与两侧轴承端面的垂直度超差，原因在于，阀体两侧的轴承内孔跨度大距离远，无法一刀完成加工，需要在两侧分别找正加工，由于找正基准变动，两侧轴承内圆的位置公差很难保证，同轴度超差导致阀轴装配精度超差即与两侧轴承端面的垂直度超差。如此情况使密封圈与翻板阀轴4的偶合面受力极不均匀，压力大的地方，密封圈易磨损，压力小的地方，容易泄漏，该位置密封性能低下，是真空系统的薄弱环节，有时，甚至一周换一次密封圈。
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【技术保护点】
1.一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在翻板阀轴(4)上由内至外依次套设有翻板阀轴承(3)、密封座和压盖；
2.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在密封座与翻板阀轴承(3)接触的端面上预制有静密封槽(5)，静密封槽(5)中安装有第二密封圈(11)。
3.根据权利要求2所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，第二密封圈(11)采用O型密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，贯穿孔为阶梯孔，阶梯孔包括第一孔(71)和第二孔(72)，第一孔(71)的直径小于第二孔(72)；
<...【技术特征摘要】
1.一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在翻板阀轴(4)上由内至外依次套设有翻板阀轴承(3)、密封座和压盖；
2.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在密封座与翻板阀轴承(3)接触的端面上预制有静密封槽(5)，静密封槽(5)中安装有第二密封圈(11)。
3.根据权利要求2所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，第二密封圈(11)采用o型密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，贯穿孔为阶梯孔，阶梯孔包括第一孔(71)和第二孔(72)，第一孔(71)的直径小于第二孔(72...
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