【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及密封，尤其涉及一种超高真空密封用垫片、连接机构及超高真空系统。
技术介绍
1、高真空系统和超高真空系统对系统的密封性具有较高的要求，目前采用全金属刀口法兰1’与无氧铜垫片2’的密封组件来实现零部件之间的密封连接。其中，在全金属刀口法兰1’上设置有刀口，刀口压紧于无氧铜垫片2’的端面，利用预紧螺栓对全金属刀口法兰1’与无氧铜垫片2’施加预紧力，随着预紧力的增加，全金属刀口法兰1’的刀口挤压进入无氧铜垫片2’达到一定的深度后，可以达到高真空系统和超高真空系统的密封要求。
2、为降低全金属刀口法兰1’与无氧铜垫片2’密封时需要对预紧螺栓12的预紧力，会将全金属刀口法兰1’的刀口加工的较为尖锐，因此全金属刀口法兰1’的刀口位置本身较为脆弱。而且，对于加速器超高真空系统而言，其要求法兰以及相关真空管道具有极地的磁导率，在生产过程中，往往通过真空炉进行高温退磁处理，有时会进行反复退磁处理。高温退磁虽然能够在一定程度上降低全金属刀口法兰1’的磁导率，但同时会导致全金属刀口法兰1’的强度降低，全金属刀口法兰1’上原本脆弱的刀口...
【技术保护点】
1.一种超高真空密封用垫片，其特征在于，适于设置于一对连接法兰之间，所述超高真空密封用垫片包括垫片本体；
2.根据权利要求1所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述垫片本体的两端均设置有所述密封凸起。
3.根据权利要求1所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述密封凸起具有同轴设置的第一环形面和第二环形面，所述第一环形面位于所述第二环形面靠近所述垫片本体的轴线的一侧，所述第一环形面的母线和所述第二环形面的母线中的至少一者相对于所述垫片本体的横截面倾斜设置，所述第一环形面的母线与所述第二环形面的母线成角设置。
4.根据权利要求3所述...
【技术特征摘要】
1.一种超高真空密封用垫片，其特征在于，适于设置于一对连接法兰之间，所述超高真空密封用垫片包括垫片本体；
2.根据权利要求1所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述垫片本体的两端均设置有所述密封凸起。
3.根据权利要求1所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述密封凸起具有同轴设置的第一环形面和第二环形面，所述第一环形面位于所述第二环形面靠近所述垫片本体的轴线的一侧，所述第一环形面的母线和所述第二环形面的母线中的至少一者相对于所述垫片本体的横截面倾斜设置，所述第一环形面的母线与所述第二环形面的母线成角设置。
4.根据权利要求3所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述第一环形面的母线与所述第二环形面的母线之间的夹角为30～135度。
5.根据权利要求1所述的超高真空密封用垫片，其特征在于，所述连接法兰靠近所述垫片本体的一端设置有第一定位台阶，所述第一定位台阶位于所述密封面远离所述连接法兰的轴线的一侧；
6.一种超高真空密封用连接机构，其特征在于，包括密封垫片、一对连接法兰和预紧组件，所述密封垫片设置于一对所述连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王徐建，董海义，何平，杨奇，刘天锋，田丕龙，朱邦乐，邓秉林，宋洪，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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