【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密控制，尤其涉及一种机械臂末端振动抑制方法及装置。
技术介绍
1、芯片制造过程中晶圆机械手用于对芯片进行搬运，晶圆机械手通过若干电机驱动机械手的末端执行器实现操控。该控制过程中若干电机会发生振动，当然也可认为是机械手末端产生的振动。为了抑制该振动，通常采用输入整形器抵消绝大多数的振动，如输入整形器zvd。当然也可通过提高结构或传动系统的刚性来达到减震的目的，然而环境、成本等特殊要求造成的结构构型、材料等方面的限制，常常使得的结构或传动刚性无法满足要求。
2、在实现现有技术的过程中，专利技术人发现：
3、现有采用输入整形器进行振动抑制对象的一般为单电机，需增加额外的传感器，增加了搭建成本，且对于由若干电机组成的晶圆机械手而言，分别对若干电机采用输入整形器进行振动抑制的效果差，未有考虑到其系统性地输入整形进行振动抑制的技术方案。此外，机械手除电机的振动外，机械手加工制造过程中还存在由于误差和间隙等原因导致的机械臂结构参数和设计差异等参数，进而导致机械手模型不准确，机械臂末端的振动不能简单地转换为时域的信号...
【技术保护点】
1.一种机械臂末端振动抑制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述基于机械臂尺寸参数，构建机械臂运动学模型，具体包括：
3.如权利要求2述方法，其特征在于，基于机械臂尺寸参数，获取机械臂连杆传递矩阵，具体包括：
4.如权利要求3方法，其特征在于，对所述连杆传递矩阵进行函数运算，生成机器人相应关节位姿信息，具体包括：
5.权利要求4方法，其特征在于，对所述辨识处理后的机器人相应关节位姿信息进行标定处理，具体包括：
6.如权利要求1所述方法，其特征在于，根据机械臂运动学模型，构建机械臂...
【技术特征摘要】
1.一种机械臂末端振动抑制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述基于机械臂尺寸参数，构建机械臂运动学模型，具体包括：
3.如权利要求2述方法，其特征在于，基于机械臂尺寸参数，获取机械臂连杆传递矩阵，具体包括：
4.如权利要求3方法，其特征在于，对所述连杆传递矩阵进行函数运算，生成机器人相应关节位姿信息，具体包括：
5.权利要求4方法，其特征在于，对所述辨识处理后的机器人相应关节位姿信息进行标定处理，具体包括：
6.如权利要求1所述方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：向星灿，闫金书，
申请(专利权)人：苏州纳道精运半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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