流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置，流量控制阀(4)具备：阀座部(41)、阀芯(42)、驱动部(43)、经由隔膜部(48)支承阀芯的支承体(44)。阀芯还具有：相对面(42F)，相对于落座面(42S)位于与阀座面(41S)相反的一侧；以及周面(42P)，连结落座面和相对面。隔膜部在比相对面靠落座面侧的位置与阀芯的周面连结。支承体具有：第一面(44S<subgt;1</subgt;)，以隔膜部的膜面的位置为基准，位于与相对面相同的一侧；以及第二面(44S<subgt;2</subgt;)，位于比第一面靠阀座部侧。在隔膜部为无变形的状态时，相对面和第一面位于同一面上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及流量控制阀、流量控制阀的制造方法和具备上述流量控制阀的流量控制装置。

技术介绍

1、以往，提出了各种质量流量控制器等流量控制装置(例如参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献1：日本公开公报特开2010-230159号

4、例如，在流量控制装置中，通过具备致动器的流量控制阀来控制气体等流体的流量。即，如果驱动致动器而使阀芯的落座面相对于阀座部的阀座面分离，则流体经由设置于阀座面的开口流动。另一方面，如果使落座面落座于阀座面，则设置于阀座面的开口被落座面封闭，因此流体无法经由上述开口流动。

5、在落座面落座时，为了使流体的流量成为零(或接近零)，阀座面与落座面之间的密封性变得重要。从提高密封性的观点出发，现有的流量控制阀存在改善的余地。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供能够提高阀座面与落座面之间的密封性的流量控制阀、上述流量控制阀的制造方法和具备上述流量控制阀的流量控制装置。

2、本专利技术的一方面的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种流量控制阀，其特征在于具备：

2.一种流量控制阀，其特征在于具备：

3.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其特征在于，

4.一种流量控制阀的制造方法，所述流量控制阀是权利要求1至3中任意一项所述的流量控制阀，所述流量控制阀的制造方法的特征在于，

5.一种流量控制阀，其特征在于具备：

6.一种流量控制阀，其特征在于具备：

7.根据权利要求6所述的流量控制阀，其特征在于，

8.一种流量控制装置，其特征在于具备：

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种流量控制阀，其特征在于具备：

2.一种流量控制阀，其特征在于具备：

3.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其特征在于，

4.一种流量控制阀的制造方法，所述流量控制阀是权利要求1至3中任意一项所述的流量控制阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤土和也，林繁之，长泽政幸，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：