【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阀门，具体涉及一种低摩擦的阀门及其启闭方法。
技术介绍
1、传输阀的作用就是在维持既定真空度需求的同时，来传输各种产品。主要是工作在各种工艺腔体之间。目前传输阀使用最多的场合就是半导体行业的晶圆传输、液晶等有机面板的传输。这类产品有共同的特点就是极易被污染粒子损坏，因此传输阀最重要的特性就是低粒子性。金属阀门的粒子产生主要来源于金属零部件之间的摩擦，会产生各种金属碎屑。因此要提高传输阀的低粒子性就需要尽可能避免发生金属摩擦。目前国内传输阀多是阀板直上直下型运动，这样会造成阀板与壳体的金属摩擦，故当前国内的半导体设备公司多是采用进口的低粒子传输阀，这样不仅增加了企业的成本，因为国外的技术封锁，也面临着断供的风险。因此目前传输阀市场随着国产化替代的兴起，将会有巨大的市场前景。
2、当前在传统真空领域应用较广泛的传输阀大都采用如下形式的设计：
3、1.直接由单作用气缸驱动阀板进行上下运动，通过传统阀芯结构进行密封；
4、2.同样采用单作用气缸驱动阀板上下运动的同时，将阀板密封圈改为异形结构进行
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种低摩擦的阀门，其特征在于，包括法兰连接壳（2）、阀板（3）、压阀杆（4）、阀杆（5）、驱动机构，所述阀板（3）位于法兰连接壳（2）内，阀板（3）与压阀杆（4）固定连接，所述压阀杆（4）与阀杆（5）固定连接，阀杆（5）与驱动机构连接，所述驱动机构与连接法兰壳（2）之间设置有波纹管组件，所述波纹管组件套设在阀杆（5）上，波纹管组件的上部压接在法兰连接壳（2）中，法兰连接壳（2）上有阀口。
2.根据权利要求1所述的一种低摩擦的阀门，其特征在于，所述驱动机构包括气缸（14）、驱动块（11）、运动块（10）和连杆组件，所述气缸（14）与驱动块（11）连接，驱...
【技术特征摘要】
1.一种低摩擦的阀门，其特征在于，包括法兰连接壳（2）、阀板（3）、压阀杆（4）、阀杆（5）、驱动机构，所述阀板（3）位于法兰连接壳（2）内，阀板（3）与压阀杆（4）固定连接，所述压阀杆（4）与阀杆（5）固定连接，阀杆（5）与驱动机构连接，所述驱动机构与连接法兰壳（2）之间设置有波纹管组件，所述波纹管组件套设在阀杆（5）上，波纹管组件的上部压接在法兰连接壳（2）中，法兰连接壳（2）上有阀口。
2.根据权利要求1所述的一种低摩擦的阀门，其特征在于，所述驱动机构包括气缸（14）、驱动块（11）、运动块（10）和连杆组件，所述气缸（14）与驱动块（11）连接，驱动块（11）与运动块（11）通过连杆组件连接，所述运动块（10）上设置有滚轮（12）。
3.根据权利要求2所述的一种低摩擦的阀门，其特征在于，所述连杆组件包括连杆（15）和连杆定位轴（16），驱动块（11）、运动块（10）、连杆（15）和连杆定位轴（16）组成平行四边形的连杆机构。
4.根据权利要求3所述的一种低摩擦的阀门，其特征在于，还包括阀壳，所述阀壳包括左阀壳（6）、右阀壳（7）、前盖（8）、后盖（9）和底板（13），所述右阀壳（7）上开设l形的滚轮滑槽（71），所述滚轮（12）位于滚轮滑槽（71）中，所述底板（13...
【专利技术属性】
技术研发人员：王莲冀，周思遥，魏琼林，林江，罗一，
申请(专利权)人：成都中科唯实仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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