一种薄膜热导率的测量机构制造技术

本技术公开了一种薄膜热导率的测量机构，涉及热物性测量技术领域。该测量机构包括恒温室、固定座和上盖，恒温室的底面开设有气压平衡槽；固定座设置于恒温室内，固定座开设有定位槽，定位槽内开设有通孔，通孔与气压平衡槽相连通，气压平衡槽的至少一端位于固定座之外，定位槽内设置有待检测的样品；上盖包括盖板和多个探针，盖板设置于恒温室上，多个探针穿过恒温室并对应抵接于样品的接线端。该测量机构能够实现样品的快速装卸，并能为样品的测量提供恒温条件；而固定座的通孔与气压平衡槽相连通，能够在真空环境下使薄膜背面的气压与正面的气压相同，避免压力差导致薄膜的形态发生变化甚至损坏，保证测量数据的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热物性测量，尤其涉及一种薄膜热导率的测量机构。

技术介绍

1、在功能薄膜材料的研发过程中，对薄膜热导率的表征通常是一个重要的环节，现有技术中基于电加热/电阻测温的方法(如3ω方法)可被用来测量薄膜的面外热导率和面内热导率，具有较广的应用范围。

2、实施该类方法时，需要在样品表面制作一组或者多组电极，作为电阻加热器和电阻温度计。每组电极通常有四个接线端，为了向电极导入激发电流并引出电压信号，通常可将金属细导线焊接或者用银胶固定到上述接线端上，但该过程比较耗时，影响测试效率。为了测量薄膜样品随温度变化的趋势，还需要为样品提供一个恒温测量环境。

3、此外，当测量薄膜面内热导率时，薄膜需要被悬空固定在一个框架上、并在真空样品室内开展测量。如果悬空薄膜厚度很薄(如几十纳米到几百纳米)，当开始对真空样品室抽真空时，薄膜正面和背面如果存在气压差可能会导致薄膜变形甚至损坏；即使薄膜的强度足够大，在测量过程中如果薄膜正面和背面不能同处于良好的真空环境中也会导致测量误差。

技术实现思路</p>

1、本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜热导率的测量机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述恒温室(1)包括底座(11)和保温罩(12)，所述保温罩(12)罩设于所述底座(11)，所述固定座(2)设置于所述底座(11)上，所述保温罩(12)开设有窗口(121)，多个所述探针(32)通过所述窗口(121)伸入所述恒温室(1)内。

3.根据权利要求2所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述底座(11)包括间隔设置的两个支撑件(111)，两个所述支撑件(111)之间形成限位槽，所述保温罩(12)包括顶板(122)和间隔设置的两个侧板(123)，顶...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜热导率的测量机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述恒温室(1)包括底座(11)和保温罩(12)，所述保温罩(12)罩设于所述底座(11)，所述固定座(2)设置于所述底座(11)上，所述保温罩(12)开设有窗口(121)，多个所述探针(32)通过所述窗口(121)伸入所述恒温室(1)内。

3.根据权利要求2所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述底座(11)包括间隔设置的两个支撑件(111)，两个所述支撑件(111)之间形成限位槽，所述保温罩(12)包括顶板(122)和间隔设置的两个侧板(123)，顶板(122)设置于两个所述支撑件(111)上，两个所述侧板(123)分别设置于所述限位槽的两端并封堵所述限位槽。

4.根据权利要求3所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述底座(11)还包括固定部(112)，所述固定部(112)位于两个所述侧板(123)的外部。

5.根据权利要求3所述的薄膜热导率的测量机构，其特征在于，所述测量机构还包括螺钉，所述螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉夫，褚卫国，郭延军，王东伟，徐波，任红轩，窦凯飞，
申请(专利权)人：国家纳米科学中心，
类型：新型
国别省市：