【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料检测，具体涉及一种材料的均质性检测装置及检测方法。
技术介绍
1、石墨材料具有耐高温、抗腐蚀、导电性良好等特点，是当前高温热工装备中最常用的热场材料，常用于发热体及各类承载件、结构件。在高精尖的半导体领域中，为了生长更高性能的晶圆，对设备中的热场均匀性要求极高，因此要求石墨材料具有良好的均质性，以保证其作为电阻加热时能够均匀发热。
2、目前对于石墨均质性的测试通常基于多点取样，即在多个位置、多个方向上对小样进行各项性能测试，然后通过对比不同位置、不同方向的各向异性度来获取实验结果。这种取样测试方式的取样位置难以统一，只能测试某些独立点位的性能差异，难以反映整个样品的情况，尤其是针对大型样品的测试更不实用，取样差异性大，容易对样本的均质性产生误判，从而影响测试的准确性，并且多点取样的取样点数有限，不能测试样本大面积的均匀度情况，从而影响测试的结果。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种操作简单、测试准确性高、测试效果好的...
【技术保护点】
1.一种材料的均质性检测装置，其特征在于：包括测试腔体(1)、加热元件(2)及测温装置(3)，所述加热元件(2)设在所述测试腔体(1)内部用于对待测材料(100)进行加热，所述测温装置(3)设在所述测试腔体(1)内部用于对待测材料(100)进行测温，所述测试腔体(1)内设有用于控制待测材料(100)转动的旋转机构(4)。
2.根据权利要求1所述的材料的均质性检测装置，其特征在于：所述测试腔体(1)设有进气口(11)和抽气口(12)，所述进气口(11)、抽气口(12)均与测试腔体(1)连通。
3.根据权利要求1所述的材料的均质性检测装置，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种材料的均质性检测装置，其特征在于：包括测试腔体(1)、加热元件(2)及测温装置(3)，所述加热元件(2)设在所述测试腔体(1)内部用于对待测材料(100)进行加热，所述测温装置(3)设在所述测试腔体(1)内部用于对待测材料(100)进行测温，所述测试腔体(1)内设有用于控制待测材料(100)转动的旋转机构(4)。
2.根据权利要求1所述的材料的均质性检测装置，其特征在于：所述测试腔体(1)设有进气口(11)和抽气口(12)，所述进气口(11)、抽气口(12)均与测试腔体(1)连通。
3.根据权利要求1所述的材料的均质性检测装置，其特征在于：所述测试腔体(1)底部设有多个出气口(13)，各所述出气口(13)与测试腔体(1)连通。
4.根据权利要求1所述的材料的均质性检测装置，其特征在于：所述测试腔体(1)外部设有外壳，所述外壳与测试腔体(1)之间形成真空夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋伟杰，杨程，熊杰，李启常，张宇，刘金平，黄斌，王新华，
申请(专利权)人：湖南长宇科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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