一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法。本发明专利技术解决了柔性曲面刻蚀过程中如何实现大尺寸柔性曲面上金属图案刻蚀的技术问题。本发明专利技术通过建立待刻蚀曲面零件三维模型，计算曲面函数表达式；随后依据激光振镜扫描范围与激光焦深划分激光扫描片区；将分区信息导入激光数控加工平台，确定激光刻蚀参数，工控机控制激光振镜扫描平台进行分区刻蚀；最后根据金属薄膜厚度与精度要求确定刻蚀层数，进行多次分层刻蚀，获得高精度金属图案。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及高精度激光制造的，特别是一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法。

技术介绍

1、柔性基材表面高精度金属图案制造技术的一个重要应用领域是先进航天器天线反射器的制造。该类天线能够极大增强卫星通讯信噪比，提高卫星通讯灵敏度，对航天器天线在导航、通讯、深空探测等领域的应用具有关键性意义。

2、目前金属图案制造主要包括软刻蚀、直写打印、转印等技术。软刻蚀工艺使用光刻技术得到所需的金属电路图案，工艺成本高，产生的化学废液污染严重；直写打印工艺可以实现复杂三维曲面金属电路图案的制备，其打印材料为液态金属，对材料的选择有所限制，且与基体的结合强度低。而利用传统的印制电路板制造技术实现金属图案与热塑性薄膜的材料的复合，存在薄膜易变性，型面精度难以控制。激光刻蚀是利用脉冲激光的瞬间高能量能够使被加工材料的表面迅速升温并达到气化，从而使得材料局部被加工或者去除的过程。其具有速度快、精确度高、适应性强等特点，并且还具有不接触、不引进应力、加工的热影响区小、自动化控制等优点。现有激光刻蚀技术由于激光扫描范围小，多用于小尺寸复杂结构的制造，难以满足大尺寸复杂曲面金本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多点位置的单位法向量与曲率满足：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，多个区域均满足以下至少一项：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将待刻蚀工件划分为多个区域，包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，K为6～8。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，刻蚀参数满足以下至少一项：激光功率4W～6W、激光频率20kHz～25kHz、脉宽80～120ns、光斑直径30～50μm、激光扫描速度40...

【技术特征摘要】

1.一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多点位置的单位法向量与曲率满足：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，多个区域均满足以下至少一项：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将待刻蚀工件划分为多个区域，包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，k为6～8。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，刻蚀参数满足以下至少一项：激光功率4w～6w、激光频率20khz～25khz、脉宽80～120ns、光斑直径30～50μm、激光扫描速度400～500mm/s。

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【专利技术属性】
技术研发人员：邵春盛，马强，飞景明，向语嫣，李松玲，安琪，陈滔，陈庆，孙晓峰，彭聪辉，胡鲲，刘美淑，程龙，刘雪莹，李志南，张亚光，
申请(专利权)人：北京卫星制造厂有限公司，
类型：发明
国别省市：