【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆加热领域，尤其是涉及一种晶圆加热控制方法、系统及存储介质。
技术介绍
1、晶圆需要放置在热板上通过软烤使附着在晶圆上的光刻胶内的溶剂挥发掉，使光刻胶能形成一定强度，保持相关形状；但是如果热板温度偏差较大或各区域温差较大，将对光刻胶造成影响。客户现在是通过做一个加热片，上面放上温度计，对晶圆放置在热盘上的温度进行测试，是发现温度不对后，对于问题的一种检测方法。热板温度有问题的话，存在以下2中情况：1热板系统控制出现错误，导致局部温度变化。2热板上存在杂质，导致加热过程中出现温度变化。
2、因此，如何合理有效对晶圆加热进行控制成了一个亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、为了合理有效对晶圆加热进行控制，本申请提供一种晶圆加热控制方法、系统及存储介质。
2、第一方面，本申请提供的一种晶圆加热控制方法采用如下的技术方案：
3、一种晶圆加热控制方法，包括：
4、在检测到加热任务时，根据所述加热任务确定目标对象以及所述目标对象的基础信息；
5、根据所述基础信息中的尺寸信息判断是否满足预设第一有效性规则；
6、若判定满足所述预设第一有效性规则，则根据所述加热任务对所述目标对象进行加热并获取当前加热参数；
7、获取当前加热环境信息并结合所述基础信息确定加热限制条件；
8、判断所述当前加热参数是否满足预设第二有效性规则；
9、若判定所述当前加热参数满足所述预设第二有效性规则时，
10、在根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判定需要进行加热干预时，根据所述加热限制条件确定干预策略并根据所述干预策略对所述目标对象进行干预。
11、可选的，所述若判定满足所述预设第一有效性规则，则根据所述加热任务对所述目标对象进行加热并获取当前加热参数的步骤，包括：
12、若判定所述尺寸信息满足所述预设第一有效性规则中的目标尺寸条件；
13、根据所述加热任务中的加热目标确定加热策略；
14、根据所述加热策略对所述目标对象进行加热并通过预设传感装置获取当前加热参数。
15、可选的，所述获取当前加热环境信息并结合所述基础信息确定加热限制条件的步骤，包括：
16、获取当前加热环境信息，并在所述加热环境信息中确定加热场景和加热工作日志；
17、根据所述加热场景结合所述基础信息确定加热场景限制条件；
18、根据所述工作日志确定工作限制条件；
19、根据所述工作限制条件结合所述加热场景限制条件确定加热限制条件。
20、可选的，所述根据所述加热场景结合所述基础信息确定加热场景限制条件的步骤，包括：
21、在所述加热场景中根据场景因素确定场景限制条件；
22、在所述基础信息中确定基础限制条件；
23、根据所述场景限制条件和所述基础限制条件确定加热场景限制条件。
24、可选的，所述若判定所述当前加热参数满足所述预设第二有效性规则时，根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预的步骤，包括：
25、若判定所述当前加热参数处于所述预设第二有效性规则对应的参数区间时；
26、根据所述当前加热参数生成加热参数曲线；
27、根据所述加热参数曲线结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预。
28、可选的，所述根据所述加热参数曲线结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预的步骤，包括：
29、根据所述加热参数曲线确定加热数值信息和加热变化信息；
30、在所述加热限制条件中确定数值限制条件和变化限制条件；
31、在所述加热数值信息满足所述数值限制条件和/或所述加热变化信息满足所述变化限制条件时，判定需要进行加热干预。
32、可选的，所述根据所述加热限制条件确定干预策略并根据所述干预策略对所述目标对象进行干预的步骤，包括：
33、获取所述加热限制条件中的客观限制条件集合和主观限制条件集合；
34、根据所述客观限制条件集合确定客观限制策略；
35、根据所述主观限制条件集合确定主观限制策略；
36、根据所述客观限制策略和所述主观限制策略确定干预策略并对所述目标对象进行干预。
37、第二方面，本申请提供一种晶圆加热控制系统，所述晶圆加热控制系统包括：
38、基础信息模块，用于在检测到加热任务时，根据所述加热任务确定目标对象以及所述目标对象的基础信息；
39、预设第一有效性规则模块，用于根据所述基础信息中的尺寸信息判断是否满足预设第一有效性规则；
40、当前加热参数模块，用于若判定满足所述预设第一有效性规则，则根据所述加热任务对所述目标对象进行加热并获取当前加热参数；
41、加热限制条件模块，用于获取当前加热环境信息并结合所述基础信息确定加热限制条件；
42、预设第二有效性规则模块，用于判断所述当前加热参数是否满足预设第二有效性规则；
43、加热干预判断模块，用于若判定所述当前加热参数满足所述预设第二有效性规则时，根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预；
44、加热干预实施模块，用于在根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判定需要进行加热干预时，根据所述加热限制条件确定干预策略并根据所述干预策略对所述目标对象进行干预。
45、第三方面，本申请提供一种计算机设备，所述设备包括：存储器、处理器，所述处理器在运行所述存储器存储的计算机指令时，执行如上文所述的方法。
46、第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，包括指令，当所述指令在计算机上运行时，使得计算机执行如上文所述的方法。
47、综上描述，本申请包括以下有益技术效果：
48、本申请在检测到加热任务时，根据加热任务确定目标对象以及目标对象的基础信息；根据基础信息中的尺寸信息判断是否满足预设第一有效性规则；若判定满足预设第一有效性规则，则根据加热任务对目标对象进行加热并获取当前加热参数；获取当前加热环境信息并结合基础信息确定加热限制条件；判断当前加热参数是否满足预设第二有效性规则；若判定当前加热参数满足预设第二有效性规则时，根据当前加热参数结合加热限制条件判断是否需要进行加热干预；在根据当前加热参数结合加热限制条件判定需要进行加热干预时，根据加热限制条件确定干预策略并根据干预策略对目标对象进行干预。通过预设第一有效性规则和预设第二有效性规则的判断实现了合理有效对晶圆加热进行控制的技术效果。
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1.一种晶圆加热控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述若判定满足所述预设第一有效性规则，则根据所述加热任务对所述目标对象进行加热并获取当前加热参数的步骤，包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述获取当前加热环境信息并结合所述基础信息确定加热限制条件的步骤，包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述根据所述加热场景结合所述基础信息确定加热场景限制条件的步骤，包括：
5.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述若判定所述当前加热参数满足所述预设第二有效性规则时，根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预的步骤，包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述根据所述加热参数曲线结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预的步骤，包括：
7.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述根据所述加热限制条件确定干预策略并根据所述干预策略对所述目标对象进行干
8.一种晶圆加热控制系统，其特征在于，所述晶圆加热控制系统包括：
9.一种计算机设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器，所述处理器在运行所述存储器存储的计算机指令时，执行如权利要求1至7中任一项所述的方法。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，包括指令，当所述指令在计算机上运行时，使得计算机执行如权利要求1至7中任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆加热控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述若判定满足所述预设第一有效性规则，则根据所述加热任务对所述目标对象进行加热并获取当前加热参数的步骤，包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述获取当前加热环境信息并结合所述基础信息确定加热限制条件的步骤，包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述根据所述加热场景结合所述基础信息确定加热场景限制条件的步骤，包括：
5.根据权利要求1所述的晶圆加热控制方法，其特征在于，所述若判定所述当前加热参数满足所述预设第二有效性规则时，根据所述当前加热参数结合所述加热限制条件判断是否需要进行加热干预的步骤，包...
【专利技术属性】
技术研发人员：任超，方梁洪，彭祎，
申请(专利权)人：宁波芯健半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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