【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热装置，具体为一种复合磁力温场加热装置。
技术介绍
1、行业目前长晶温场环境中，均是采用石墨电阻加热方式以维持温场熵的动态平衡，石墨电阻只起到提供热能的作用，不能对已结晶的类塑性形变的晶体晶格缺陷加以影响，不能有效改善结晶前沿湍流层的紊乱强度，致使晶格缺陷可以自由攀延与长大，进而影响单晶寿命等硅棒的关键性参数。常规手段只能通过调整温场部件的高度尺寸，从宏观角度调整温场梯度来影响晶体生长过程，但均是收效甚微。
2、坩埚作为发热体，直接产生长晶需要一定的热量，因此现有的将坩埚放置在保温装置内，然后在保温装置的外壁设置感应线圈，感应线圈运作形成磁力温场，以便对坩埚内部的原料进行稳定的加热。
3、但位于坩埚中部位置的原料易出现加热不均匀的情况，而靠近坩埚外周围的原料易出现加热过度的情况，使得原料加热不稳定。
4、上述问题出现的主要原因在于坩埚外壁靠近感应线圈，使得坩埚外壁会先一步接收到热量，因此与坩埚锅壁接触的原料会先被加热，而位于坩埚中部的原料需要等待一定的时间才能接收到感应线圈处传递的热量，因...
【技术保护点】
1.一种复合磁力温场加热装置，包括固定筒（1）以及设置在固定筒（1）外壁的第一感应线圈（102），所述固定筒（1）的内壁设置有坩埚（2），所述固定筒（1）的顶部端面设置有保温罩（104），所述保温罩（104）的内部插接有籽晶杆（3），其特征在于，所述坩埚（2）的内部设置有搅拌机构（4）；
2.根据权利要求1所述的一种复合磁力温场加热装置，其特征在于，所述坩埚（2）的底部端面固定连接有支撑板（401），所述连接筒（402）延伸至坩埚（2）外部的一端转动连接在支撑板（401）的一侧，所述支撑板（401）的底部端面设置有用于驱动连接筒（402）转动的驱动电机（4
【技术特征摘要】
1.一种复合磁力温场加热装置，包括固定筒（1）以及设置在固定筒（1）外壁的第一感应线圈（102），所述固定筒（1）的内壁设置有坩埚（2），所述固定筒（1）的顶部端面设置有保温罩（104），所述保温罩（104）的内部插接有籽晶杆（3），其特征在于，所述坩埚（2）的内部设置有搅拌机构（4）；
2.根据权利要求1所述的一种复合磁力温场加热装置，其特征在于，所述坩埚（2）的底部端面固定连接有支撑板（401），所述连接筒（402）延伸至坩埚（2）外部的一端转动连接在支撑板（401）的一侧，所述支撑板（401）的底部端面设置有用于驱动连接筒（402）转动的驱动电机（404）。
3.根据权利要求2所述的一种复合磁力温场加热装置，其特征在于，所述连接筒（402）延伸至坩埚（2）外...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永恩，
申请(专利权)人：江西磐盟半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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