【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅基半导体固废的处理和提纯领域,具体涉及一种硅基半导体固废的多过程配合提纯方法。
技术介绍
1、电子和光伏产业的快速发展及其在各行各业中的广泛应用,极大的增加了半导体材料,特别是硅基半导体材料的需求。硅基半导体在芯片和太阳能电池等领域的主导地位,以及其在晶体管、二极管、整流器件中的优异性能,已经使硅材料成为本世纪至今最重要的半导体材料。尽管硅基半导体的提纯和提拉熔炼仍需要极高的能耗,其仍然是行业的工业必需品。
2、芯片和光伏组件均采用硅片作为基底或基本单元,其线切割的工艺、良品率和产量也决定了产品的成本和质量。目前,光伏组件用硅基半导体片的厚度已接近100μm,其厚度每下降10μm,成本将下降0.01元/w。然而,厚度的降低必然增加金刚石线的数量,其片间距的硅基切割固废则急剧增加,已达到硅锭的35~40%。硅基固废在工业冲洗收集过程中会因有机辅助试剂、氧化、切割线材附着等原因引入杂质,但其中的晶体硅粉料仍然具有极高的纯度。考虑到6n~9n的晶体硅固废纯度依然很高,且不可降解,许多传统方案仅通过有机溶剂和酸洗对其
...【技术保护点】
1.一种硅基半导体固废的多过程配合提纯方法,其特征在于包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
【技术特征摘要】
1.一种硅基半导体固废的多过程配合提纯方法,其特征在于包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪嘉恒,叶喜豪,蒋铠杰,魏浩山,陈志远,蔡成,
申请(专利权)人:合肥工业大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。