【技术实现步骤摘要】
本申请涉及酸碱废液处理，尤其涉及一种芯片酸碱废液收集处理装置。
技术介绍
1、随着半导体产业发展,芯片工厂越来越多，对酸碱性溶剂使用量也在逐年增加。由于酸碱性溶剂具有危险品的特性,芯片工厂使用完后的酸碱废液需要进行处理，酸碱废液通常都集中交给专业厂家进行处理，酸碱废液在运输过程中存在一定的危险，并且运输成本也较大。现有技术如申请号为cn202222598450.8的中国专利申请公开了一种实验室酸碱废液中和处理装置，包括底座，底座的上表面固定连接有排水箱，排水箱的上表面固定连接有两个废液收集桶，两个废液收集桶的上表面均固定连接有抽水泵，两个抽水泵的输入端均延伸至对应的废液收集桶的内部，两个抽水泵的输出端均固定连接有输水管，两个输水管远离抽水泵的一端固定连接有搅拌箱,输水管靠近搅拌箱的一端设置有调节装置，搅拌箱的内部设置有清理装置，搅拌箱的后表面固定连接有废渣箱。其存在多个废液收集桶和排水箱并排设置，占用空间大，结构复杂的问题。
2、为此，亟待一种芯片酸碱废液收集处理装置，使结构更紧凑合理，能够提高酸碱废液的处理效率。
<...【技术保护点】
1.一种芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述搅拌件(20)包括搅拌轴(22)和设置于其上的搅拌叶(21)，所述壳体(10)上设置有驱动电机(60)，所述驱动电机(60)的输出轴与所述搅拌轴(22)相互连接。
3.根据权利要求1所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述导流板(40)与所述搅拌件(20)并排设置，所述导流板(40)远离所述搅拌件(20)的一端与所述壳体(10)的内壁连接、另一端为自由端，所述导流板(40)沿靠近所述搅拌件(20)的方向逐渐向下倾斜。<...
【技术特征摘要】
1.一种芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述搅拌件(20)包括搅拌轴(22)和设置于其上的搅拌叶(21)，所述壳体(10)上设置有驱动电机(60)，所述驱动电机(60)的输出轴与所述搅拌轴(22)相互连接。
3.根据权利要求1所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述导流板(40)与所述搅拌件(20)并排设置，所述导流板(40)远离所述搅拌件(20)的一端与所述壳体(10)的内壁连接、另一端为自由端，所述导流板(40)沿靠近所述搅拌件(20)的方向逐渐向下倾斜。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述进液组件(50)包括多个进液管(51)，多个所述进液管(51)用于分别导入酸性废液和/或碱性废液。
5.根据权利要求4所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述进液组件(50)配设有手动阀、紧急切断阀和比例调节阀。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的芯片酸碱废液收集处理装置，其特征在于，所述第二过滤件(12)倾斜设置在...
【专利技术属性】
技术研发人员：董召华，胡恒广，朱国发，闫冬成，
申请(专利权)人：河北光兴半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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