【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳纤维固化保温毡，具体为一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置。
技术介绍
1、单晶硅生长炉的保温层采用碳纤维固化保温毡，对于单晶硅生产炉的热场控制具有重要意义，碳纤维固化保温毡热导率低，起到保温作用；另外较低的电阻率减少电磁感应效应产生的额外热量，节约电力消耗，因此，准确测定使用环境中碳纤维固化保温毡的电阻率，对单晶硅生长炉热场的设计具有重要指导作用。
2、碳纤维固化保温毡，通常是以碳纤维软毡为原料，采用树脂作为黏合剂，通过层压、缠绕、真空抽滤、模压等工艺成型固化，再经高温石墨化处理后得到的硬质保温材料，碳纤维软毡则是由碳纤维通过编织、针刺等工艺制备而成，因此，碳纤维固化保温毡的电阻率，除了取决于碳纤维的本身电阻性质外，还受到碳纤维的体积含量、取向、排布方式等影响；碳纤维固化保温毡的电阻率具有不均匀性，硬质碳毡固有的弹性，受到不可避免外力时其形状和密度均会改变，导致测试样品的电阻测量结果分散性较大、误差大。
3、单晶硅生长炉用碳纤维固化保温毡，其内部纤维取向具有各向异性，另外碳纤维固化保温毡在使用环境中要承受高温和一定压力，因此需要开发一种可以在高温、真空和一定压力环境中，测试碳纤维固化保温毡体积电阻率的装置，满足单晶硅生产炉热场设计及其使用需求。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，解决了碳纤维固化保温毡测试操作不便的问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现
3、优选的，所述真空试验箱一侧的顶部固定连接有真空系统。
4、优选的，所述箱体的表面开设有与滑块相适配的滑槽。
5、优选的，所述样品台的底部固定连接有底座。
6、优选的，所述夹具的外部设置有精密高温烘箱。
7、优选的，所述真空试验箱内壁的一侧固定连接有机械手。
8、有益效果
9、本技术提供了一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置。与现有技术相比具备以下有益效果：该碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，通过真空试验箱内壁底部的一侧设置有夹具，并且真空试验箱内壁底部的另一侧设置有控制器，夹具与控制器之间通过导线连接，夹具包括样品台，样品台的背面固定连接有箱体，并且箱体的顶部固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，并且螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，滑块的一侧固定连接有活动板，并且活动板的底部与样品台的顶部均设置有电极，活动板的内部设置有压力传感器，对碳纤维固化保温毡进行检测较为便利，直接将其放置在样品台上然后通过电极检测电压，再通过压力传感器检测压力，从而通过计算其导电率，机械手随意翻转样品，观察定位样品，可以获取较为准确的数据。
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1.一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，包括真空试验箱(1)，其特征在于：所述真空试验箱(1)内壁底部的一侧设置有夹具(2)，并且真空试验箱(1)内壁底部的另一侧设置有控制器(3)，所述夹具(2)与控制器(3)之间通过导线(4)连接，所述夹具(2)包括样品台(21)，所述样品台(21)的背面固定连接有箱体(22)，并且箱体(22)的顶部固定连接有伺服电机(23)，所述伺服电机(23)的输出端固定连接有螺纹杆(24)，并且螺纹杆(24)的表面螺纹连接有滑块(25)，所述滑块(25)的一侧固定连接有活动板(26)，并且活动板(26)的底部与样品台(21)的顶部均设置有电极(27)，所述活动板(26)的内部设置有压力传感器(28)。
2.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述真空试验箱(1)一侧的顶部固定连接有真空系统(5)。
3.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述箱体(22)的表面开设有与滑块(25)相适配的滑槽(29)。
4.根据权利要求1所述的一种碳纤维固
5.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述夹具(2)的外部设置有精密高温烘箱(7)。
6.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述真空试验箱(1)内壁的一侧固定连接有机械手(8)。
...【技术特征摘要】
1.一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，包括真空试验箱(1)，其特征在于：所述真空试验箱(1)内壁底部的一侧设置有夹具(2)，并且真空试验箱(1)内壁底部的另一侧设置有控制器(3)，所述夹具(2)与控制器(3)之间通过导线(4)连接，所述夹具(2)包括样品台(21)，所述样品台(21)的背面固定连接有箱体(22)，并且箱体(22)的顶部固定连接有伺服电机(23)，所述伺服电机(23)的输出端固定连接有螺纹杆(24)，并且螺纹杆(24)的表面螺纹连接有滑块(25)，所述滑块(25)的一侧固定连接有活动板(26)，并且活动板(26)的底部与样品台(21)的顶部均设置有电极(27)，所述活动板(26)的内部设置有压力传感器(28)。
2.根据权利要求1所述的一种碳...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴庆武，
申请(专利权)人：常州京洋半导体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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