【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及飞秒激光加工，尤其涉及一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备。
技术介绍
1、飞秒激光刻蚀是用于表面加工的过程是一个高精度、高速度的加工过程。具体来说，飞秒激光束被聚焦在待加工的材料表面，产生强烈的热效应和压力效应。这些效应导致材料表面的局部区域迅速熔融、蒸发，进而形成微小的凹坑或线条。在加工过程中，可以通过精确控制激光的能量、脉宽、扫描速度等参数，实现对材料表面的精细加工和刻蚀。这种方法的加工精度极高，能够在微米甚至纳米级别进行刻蚀和加工，实现更精细的图案和更复杂的结构的制备。
2、但是传统的飞秒激光刻蚀过程，大多依靠现有的吸附设备进行粉末清理，而由于刻蚀粉尘过于细小甚至达到纳米级别，对吸附设备内部的过滤系统要求较高，且在单次完成多任务刻蚀过程后，刻蚀粉末量较大，如此则需要频繁的清理过滤系统确保吸附和过滤效果，过程繁琐，影响加工效率。
技术实现思路
1、本专利技术公开一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，旨在解决传统的飞秒激光刻蚀过程，大多依靠现有的吸附设备进...
【技术保护点】
1.一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，包括加工平台（3），所述加工平台（3）顶部外壁的一侧设有电动伸缩杆（4），所述电动伸缩杆（4）的顶部设有安装架（5），所述安装架（5）上连接有振镜（6），所述加工平台（3）顶部外壁的中央位置设有刻片本体（7），所述刻片本体（7）位于所述振镜（6）的正下方，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于，所述侧滑块（19）沿着所述环槽的旋转角度范围为：0度~240度。
3.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于，三个所述第...
【技术特征摘要】
1.一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，包括加工平台（3），所述加工平台（3）顶部外壁的一侧设有电动伸缩杆（4），所述电动伸缩杆（4）的顶部设有安装架（5），所述安装架（5）上连接有振镜（6），所述加工平台（3）顶部外壁的中央位置设有刻片本体（7），所述刻片本体（7）位于所述振镜（6）的正下方，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于，所述侧滑块（19）沿着所述环槽的旋转角度范围为：0度~240度。
3.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于，三个所述第一过滤板（30）的上平面与所述顶通孔（25）的进口处相平齐，且位于所述第一过滤板（30）上的所述滤孔的孔径大于所述第二过滤板（31）上的所述微孔（32）的孔径。
4.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于，所述旋转驱动机构包括设置在所述加工平台（3）底部外壁一侧的衔接块（2），所述衔接块（2）的底部外壁上安装有底座（1），所述底座（1）的中央位置安装有连接板（8），所述连接板（8）的顶部外壁上设有第一电机（11），所述第一电机（11）的输出轴一端连接有摆杆（12），所述摆杆（12）远离所述第一电机（11）的一端安装在所述安装座（20）的一侧外壁上。
5.根据权利要求4所述的一种用于飞秒激光加工刻蚀粉末的清理设备，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅新伶，姚燕生，杨艳，彭玉斌，胡珊珊，周建伟，芮旭东，
申请(专利权)人：安徽建筑大学，
类型：发明
国别省市：
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