一种真空传动装置制造方法及图纸

本技术提供了一种真空传动装置，通过设置动力装置、和套设在动力装置的转轴上的密封装置；所述密封装置的顶部用于和半导体装置中的处理腔室的底部固定，在动力装置和处理腔室之间的连接处，以及密封装置和处理腔室之间的连接处形成密封，阻止空气进入所述处理腔室内；所述动力装置用于驱动所述转轴相对于所述密封装置发生转动，将动力装置和密封装置集成为真空传动装置，并利用密封装置进行磁密封阻止动力装置所在的大气区域的空气进入所述处理腔室内的真空区域，实现了位于大气区域的动力装置的动力直接传送到半导体装置中的处理腔室的真空区域内，既减少了真空传动装置的体积和能耗，又延长使用寿命，更确保了真空洁净度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体装置领域，尤其涉及一种真空传动装置。

技术介绍

1、目前，在半导体设备中，为了提高晶圆的生产效率，会在反应腔室中设置多个晶圆基座，为了便于对晶圆基座上的晶圆的取放，同时会在反应腔室内设置相匹配数量的机械手，这些机械手需要将未反应的晶圆放置在闲置的晶圆基座上、或者将反应完成的晶圆从晶圆基座上取走。为了便于机械手对晶圆的抓取，反应腔室内还会设置用于实现该机械手旋转的结构。

2、现阶段，半导体设备厂商大多采用如图1所示的真空转动装置来实现机械手的旋转，其包括：电机10、真空密封装置9和连轴器7，连轴器7设置在电机10的输出轴6和真空密封装置9的输入轴8之间。设置连轴器7的原因是因为电机10和真空密封装置9结构不匹配，无法直接连接，所以需要额外设置连轴器7，以使得真空密封装置9与电机10实现间接连接。

3、因为反应腔室内部需要维持真空环境，所以通过如图1所示的真空传动装置实现对机械手旋转的同时，需要避免由于旋转的动作所带来的真空泄露的问题，所以目前，需要对如图1所示的真空传动装置的外围需要额外设置很多的密封圈以保证真空环境。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空传动装置，应用于半导体装置，其特征在于，包括：动力装置(1)、和套设在动力装置(1)的转轴(11)上的密封装置(2)；

2.根据权利要求1所述的传动装置，其特征在于，所述密封装置(2)还包括第一密封圈(23)；

3.根据权利要求2所述的传动装置，其特征在于，所述磁流体密封件(22)包括空心轴(221)和磁密封组件(222)；所述空心轴(221)可拆卸式固定连接于所述转轴(11)；

4.根据权利要求3所述的传动装置，其特征在于，所述磁流体密封件(22)还包括第二密封圈(223)；

5.根据权利要求4所述的传动装置，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种真空传动装置，应用于半导体装置，其特征在于，包括：动力装置(1)、和套设在动力装置(1)的转轴(11)上的密封装置(2)；

2.根据权利要求1所述的传动装置，其特征在于，所述密封装置(2)还包括第一密封圈(23)；

3.根据权利要求2所述的传动装置，其特征在于，所述磁流体密封件(22)包括空心轴(221)和磁密封组件(222)；所述空心轴(221)可拆卸式固定连接于所述转轴(11)；

4.根据权利要求3所述的传动装置，其特征在于，所述磁流体密封件(22)还包括第二密封圈(223)；

5.根据权利要求4所述的传动装置，其特征在于，所述转轴(11)包括实心轴(111)、以及凸起部(112)；

6.根据权利要求5所述的传动装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴威威，吴跃，王祥，
申请(专利权)人：宸微设备科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：