【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置。
技术介绍
1、现有fa实验室8台手动研磨机研磨废液排液的方法：废液先进入一个储液槽，待液位上升至一定高度后，由水泵抽出废液，上排至厂务总管。
2、由于环境所限，排液只能是上排，从1f实验室上排至2f的厂务端，所以必须加装排水泵和止回阀。但是由于废液中有较多固体颗粒物，导致水泵和止回阀容易堵塞，在实验室8台手动研磨机日常负荷的使用情况下，一般一个月就会造成水泵堵塞卡死，需要更换水泵。三个月左右止回阀也有一定几率被堵塞损坏，需要更换止回阀。
3、每次更换相关设备都会造成实验室8台手动研磨机无法使用，而且因为上排水的原因，管路中的废液也会回流至储液槽，造成液面过高导致倒灌，严重时会溢出触发漏液警报。同时，储水槽也需要定期清理，现有的情况导致清理周期较短(每周一次)。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，用于解决现有技术中研磨废液排
【技术保护点】
1.一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于，至少包括：
2.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述可拆卸滤网的作用是：当所述沉淀区中的水溢出后通过所述可拆卸滤网过滤后流向所述蓄水区。
3.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述手阀用于在第一、第二水泵间来回切换。
4.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述管路在所述水槽的蓄水区一侧与所述第一、第二水泵的首端之间设有纯水管。
5.根据权利要求6所述的改善实验室研磨废液排...
【技术特征摘要】
1.一种改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于，至少包括：
2.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述可拆卸滤网的作用是：当所述沉淀区中的水溢出后通过所述可拆卸滤网过滤后流向所述蓄水区。
3.根据权利要求1所述的改善实验室研磨废液排液堵塞的装置，其特征在于：所述手阀用于在第一、第二水泵间来回切换。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈曦，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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