超音波换能器及超音波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种超音波换能器，包括:基材、超音波换能元件、接地电极、多条讯号导线以及接地导线。超音波换能元件、接地电极、多条讯号导线以及接地导线都位于基材上方。多条讯号导线与超音波换能元件电性接触，并由超音波换能元件向外延伸，且沿着第一方向排列。接地导线位于多条讯号导线的上方或下方，电性连接接地电极和超音波换能元件，并与多条讯号导线电性隔离，且包括至少一个第一延伸部，沿着第一方向延伸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超音波换能器(ultrasonic transducer)与应用此超音波换能器的超音波装置，尤其涉及一种具有微机电系统(micro-electro-mechanical-system，mems)的超音波换能器及超音波装置。

技术介绍

1、超音波换能器(或称为超音波探头)具有即时成像、无放射线伤害且成本低等优点，常被应用于医疗检测仪器之中。近年来又因微机电系统技术的进步与发展，将超音波技术带入微机械超音波换能器(micromachined ultrasonic transducer，mut)的新领域，更拓展了超音波换能器在头戴式虚拟实境(vr)、指纹生物辨识、医疗应用等领域的应用。

2、典型的微机械超音波换能器包括多个排列于基材上方用以组成一维或二维阵列的超音波产生单元，其中每一个超音波产生单元的输入端和接地端一般会通过软式印刷电路板(flexible printed circuit board，fpcb)的导线(例如，讯号导线和接地导线)分别与电压接地电路电性连接。然而随着半导体技术的进步，当微机械超音波换能单元的间隔尺寸(p本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超音波换能器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超音波换能器，其特征在于，该超音波换能元件还包括多个超音波换能单元，沿着该第一方向排列；该多条讯号导线的每一单数排列者，电性连接于该多个超音波换能单元单数排列的其中一者的第一侧；该多条讯号导线的每一双数排列者，电性连接于该多个超音波换能单元双数排列的其中一者的第二侧，且该第一侧与该第二侧平行相对。

3.如权利要求2所述的超音波换能器，其特征在于，该多条讯号导线位于该超音波换能元件的顶部，该接地电极和该接地导线位于该超音波换能元件的底部与该基材之间。

4.如权利要求3所述的超音波换能器，其特...

【技术特征摘要】

1.一种超音波换能器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超音波换能器，其特征在于，该超音波换能元件还包括多个超音波换能单元，沿着该第一方向排列；该多条讯号导线的每一单数排列者，电性连接于该多个超音波换能单元单数排列的其中一者的第一侧；该多条讯号导线的每一双数排列者，电性连接于该多个超音波换能单元双数排列的其中一者的第二侧，且该第一侧与该第二侧平行相对。

3.如权利要求2所述的超音波换能器，其特征在于，该多条讯号导线位于该超音波换能元件的顶部，该接地电极和该接地导线位于该超音波换能元件的底部与该基材之间。

4.如权利要求3所述的超音波换能器，其特征在于，该第一延伸部位于该多个超音波换能单元的该第一侧，且该接地导线还包括:

5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋富升，
申请(专利权)人：苏州佳世达电通有限公司，
类型：发明
国别省市：