本申请实施例提供一种压电微机械超声换能器、制作方法以及电气产品。所述压电微机械超声换能器制作方法包括：在所述压电微机械超声换能器的衬底的上表面沉积牺牲层，其中，所述衬底的上表面的至少一部分为曲面；通过预设的通道释放所述牺牲层材料至所述压电微机械超声换能器之外。通过本发明专利技术所提供的压电微机械超声换能器的制作方法可以精准获取PMUT的空腔尺寸，且依据该方法制作PMUT，不涉及PMUT振膜层从平面结构到曲面结构的转变，不会对PMUT振膜层造成额外应力和变形，进而能够制成均匀性好且性能优异的PMUT。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子，特别涉及一种压电微机械超声换能器、制作方法以及电气产品。
技术介绍
1、压电微机械超声换能器(piezoelectric micromachined ultrasonictransducer，pmut)是基于微机电系统(mems)的新型换能器，与传统的换能器相比具有重量轻、体积小、可靠性高且易于ic工艺集成和阵列化等优势。pmut的工作原理是利用压电材料的正逆压电效应使压电薄膜振动，从而发射或者接收超声波信号。pmut既可以做执行器发射声波，又可以做传感器接收声波，另外，基于mems标准工艺的批量化生产工艺和晶圆级封装工艺使pmut生产成本较低，非常适合大规模商业应用。
2、pmut在超声测距、超声成像、超声无损检测、超声指纹识别、超声流量检测、超声力学反馈等方面都有较好的应用前景，比如在超声成像仪、超声雷达、声呐探测、扫地机器人、超声烟雾报警器、超声流量计等具体产品和场景中都会用到。上述应用都涉及pmut的超声信号发射及超声信号接收，因此pmut的发射和接收性能是其关键指标，决定了产品的优劣。
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【技术保护点】
1.一种压电微机械超声换能器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，所述空腔通过释放预先沉积在所述衬底之上的牺牲层材料而形成。
3.根据权利要求2所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，在所述衬底的上表面中，所述曲面周围为平面；
4.根据权利要求3所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，所述曲面在所述压电微机械超声换能器的水平剖面上的最小宽度与所述曲面的深度之比大于1/40。
5.根据权利要求3所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的压电微机械超声换能器，...
【技术特征摘要】
1.一种压电微机械超声换能器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，所述空腔通过释放预先沉积在所述衬底之上的牺牲层材料而形成。
3.根据权利要求2所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，在所述衬底的上表面中，所述曲面周围为平面；
4.根据权利要求3所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，所述曲面在所述压电微机械超声换能器的水平剖面上的最小宽度与所述曲面的深度之比大于1/40。
5.根据权利要求3所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的压电微机械超声换能器，其特征在于：所述通道的位置包括如下至少之一：所述衬底的上表面上方以及所述衬底的曲面下方。
7.根据权利要求6所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，当所述通道位于所述衬底的上表面上方时，所述通道位于所述平面上方。
8.根据权利要求7所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，当所述通道位于所述衬底表面上方时，所述通道穿过所述压电薄膜层以及所述电极层。
9.根据权利要求3所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，在所述压电微机械超声换能器的竖直剖面上，所述曲面的端点到其最近牺牲层端点的距离不大于所述曲面的两个端点之间的距离。
10.根据权利要求2至9任一项所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，还包括：
11.根据权利要求10所述的压电微机械超声换能器，其特征在于，所述支撑层包括如下至少之一的材料：氮化硅、二氧化硅以及硅。
12.根据权利要求1所述的压电微机械超声换能器，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，牛鹏飞，张孟伦，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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