一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮制造技术

一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，包括游星轮本体，所述游星轮本体的外周设置有齿轮，所述游星轮主体设有第一漏液孔和第二漏液孔，第一漏液孔位于游星轮主体中间，第二漏液孔位于放置孔两侧，所述游星轮主体设有防护环，所述放置孔内侧设有防护环，所述防护环与放置孔连接处设有限位槽，所述指示孔位于第一漏液孔和放置孔中间。本技术通过优化游星轮材质和结构解决了现有游星轮在抛光过程中造成晶圆崩边、划伤加工器具、生产效率低的问题，将不同尺寸防护环固定至游星轮后可分别用于4英寸、6英寸、8英寸晶圆的抛光加工。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及游星轮，具体涉及一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮。

技术介绍

1、钽酸锂具有良好的压电、电光和热释电性能，是一种优良的多功能晶体材料，目前广泛应用于通信、电子等行业中。经过抛光加工的钽酸锂晶片是制备滤波器、谐振器等电子通讯器件的主要材料。

2、游星轮是应用在硅片、玻璃、压电晶体、磁性材料等在研磨、抛光工序的夹具，用来保证加工产品精度，目前钽酸锂晶片在抛光加工时使用的游星轮主要包括不锈钢游星轮、树脂游星轮、蓝钢游星轮三种。在生产加工过程中发现：不锈钢游星轮耐用性较好，所加工晶圆表面平整度较好，但晶圆崩边率较高，树脂游星轮加工晶圆良率高但树脂游星轮本身耐用性较差，蓝钢游星轮耐用性较好，但加工时崩边率高且蓝钢游星轮容易生锈。经分析，钽酸锂晶片在加工中崩边率较高的原因是钽酸锂晶片硬度较低，而不锈钢和蓝钢硬度大，加工时晶片外侧与不锈钢或蓝钢游星轮不断接触进而造成崩边，抛光过程中出现崩边碎片容易划伤加工器具，增加产品成本，降低生产效率，亟需设计一种防止加工崩边且生产成本低的游星轮以解决该问题。

<b>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的外周设置有齿轮(3)，所述主体(1)的中间设有第一漏液孔(4)，所述主体(1)上开设七个放置孔(6)，所述放置孔(6)为圆形，所述放置孔(6)均匀分布于第一漏液孔(4)的外侧，所述放置孔(6)内壁设有防护环(7)，所述放置孔(6)与防护环(7)连接处设有限位槽(5)，相邻限位槽(5)的间距相同，每组放置孔(6)设有四个限位槽，所述主体(1)上开设七个第二漏液孔(2)，所述第二漏液孔(2)位于放置孔(6)外侧，每个第二漏液孔(2)与相邻放置孔(6)的距离相同，所述主体(1)设有指示孔(8)，所述指示孔...

【技术特征摘要】

1.一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的外周设置有齿轮(3)，所述主体(1)的中间设有第一漏液孔(4)，所述主体(1)上开设七个放置孔(6)，所述放置孔(6)为圆形，所述放置孔(6)均匀分布于第一漏液孔(4)的外侧，所述放置孔(6)内壁设有防护环(7)，所述放置孔(6)与防护环(7)连接处设有限位槽(5)，相邻限位槽(5)的间距相同，每组放置孔(6)设有四个限位槽，所述主体(1)上开设七个第二漏液孔(2)，所述第二漏液孔(2)位于放置孔(6)外侧，每个第二漏液孔(2)与相邻放置孔(6)的距离相同，所述主体(1)设有指示孔(8)，所述指示孔(8)形状为等腰三角形，所述指示孔(8)棱角处设为圆角。

2.根据权利要求1所述的一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，其特征在于：所述放置孔的形状为圆形，所述放置孔的数量...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔辉，徐秋峰，沈浩，徐耀辉，曹焕，濮思麒，
申请(专利权)人：天通凯巨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：