【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光，更具体地，涉及一种环形斑激光加工系统。
技术介绍
1、近年来随着新能源行业日益蓬勃的需求，对前端激光加工技术提出了更高的要求。受限于材料吸收因素，传统的红外激光器对高反材料的吸收率很低，在焊接切割及其他精密应用中易存在飞溅，效率低，功率受限于单模块功率等诸多问题，已不能满足铜材料等高反材料的焊接及切割。
2、绿光激光器和紫外激光器凭借着铜材对绿光、紫外光束的高吸收特性，相较于红外激光器，具有明显优势，尤其是在超精度激光加工应用领域，只有紫外激光才能满足激光加工要求。但是，绿光激光器、紫外激光器和红外激光器的激光束一样是高斯分布，在激光加工时，加工中心的温度过高，还是可能导致加工过程中产生飞溅而损坏加工工件周围的电子元件，同时，由于加工过程中加工中心和周围出现较大温度差，形成温度梯度，使得工件受热不均匀，导致工件容易出现变形、气泡以及裂纹等各种问题。
3、基于此，有必要专利技术一种环形斑激光加工系统，该激光加工系统输出光为红外、绿光和紫外光的复合光，复合光输出形式为环形光斑输出，能量呈近高斯分布...
【技术保护点】
1.一种环形斑激光加工系统，其特征在于,包括：第一激光光源(1)、第一半波片(2)、第一分色镜(3)、第二激光光源(4)、第二半波片(5)、第一反射镜(6)、第一激光晶体(7)、第二激光晶体(8)、第三激光晶体(27)、第四激光晶体(28)、第二分色镜(9)、第一透镜(10)、第二透镜(11)、第三分色镜(12)、第三透镜(13)、第四透镜(14)、第二反射镜(15)、第三反射镜(16)、第四分色镜(17)、第五分色镜(18)、振镜机构(19)、目标工件(20)、平台(21)；
2.根据权利要求1所述的环形斑激光加工系统，其特征在于,所述第五分色镜(18)...
【技术特征摘要】
1.一种环形斑激光加工系统，其特征在于,包括：第一激光光源(1)、第一半波片(2)、第一分色镜(3)、第二激光光源(4)、第二半波片(5)、第一反射镜(6)、第一激光晶体(7)、第二激光晶体(8)、第三激光晶体(27)、第四激光晶体(28)、第二分色镜(9)、第一透镜(10)、第二透镜(11)、第三分色镜(12)、第三透镜(13)、第四透镜(14)、第二反射镜(15)、第三反射镜(16)、第四分色镜(17)、第五分色镜(18)、振镜机构(19)、目标工件(20)、平台(21)；
2.根据权利要求1所述的环形斑激光加工系统，其特征在于,所述第五分色镜(18)可通过镀500～550nm、1000～1100nm的高反膜和330～367nm的增透膜的方式将位于内环的330～367nm的第四激光光束(l4)、位于中环的500～550nm的第五激光光束(l5)和位于外环的1000～1100nm的第六激光光束(l6)调节至同一激光输出方向，其中，第四激光光束(l4)的输出光斑直径为r1，第五激光光束(l5)的输出光斑直径为r2，第六激光光束(l6)的输出光斑直径为r3，r3>r2>r1。
3.根据权利要求1所述的环形斑激光加工系统，其特征在于,还包括第七透镜(23)，所述第七透镜(23)位于第一分色镜(3)和第一激光晶体(7)之间，用于对基频光束(l)进行能量会聚。
4.根据权利要求1所述的环形斑激光加工系统，其特征在于，还包括窗口片(24)，所述窗口片(24)位于第五分色镜(18)和振镜机构(19)之间，用于对环形斑激光加工系统的密封。
5.根据权利要求2所述的环形斑激光加工系统，其特征在于,还包括第五透镜(25)和第六透镜(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张成宝，张帆，黄国溪，
申请(专利权)人：深圳公大激光有限公司，
类型：新型
国别省市：
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