【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及信息处理装置和信息处理方法。
技术介绍
1、在半导体制造工厂中，通常安装用于曝光基板的诸如半导体曝光装置之类的半导体制造装置，并且基板将被有效地处理同时检查每个装置的操作状况。另外，在半导体制造装置中出现故障的情况下，将迅速地执行用于克服故障的操作。
2、日本专利申请公开no.2009-170612讨论了一种用于检测半导体制造装置中的故障的技术。具体地，半导体制造装置的处理结果以各自包括多个基板的批次为单位进行统计处理，并且统计处理的结果被显示为图表。这使用户容易立即标识已出现故障的批次。
3、根据基于各自包括多个基板的批次而显示的图表，当差异产生时，用户可以识别批次间的差异，但用户难以立即确定差异的原因。用户需要根据以批次的晶片为单位的数据来确定批次间的差异的原因。除非用户收集数据并分析数据，否则用户不能确定批次间的差异的原因，并且克服故障要花费大量的时间。
技术实现思路
1、根据本专利技术的一个方面，一种信息处理装置包括：获取单元，被配置为获取关于...
【技术保护点】
1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，处理数据是包括执行基板处理的处理装置的操作的结果和经历基板处理的基板的状态的信息。
3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上显示第二图像，所述第二图像逐基板地显示所述多个批次的处理数据和所述多个批次的配方。
4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，第一图像和第二图像中的至少一个将处理数据作为图表显示。
5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在显示装置上显示第二图像的显示方法是能够改变的，以突...
【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，处理数据是包括执行基板处理的处理装置的操作的结果和经历基板处理的基板的状态的信息。
3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上显示第二图像，所述第二图像逐基板地显示所述多个批次的处理数据和所述多个批次的配方。
4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，第一图像和第二图像中的至少一个将处理数据作为图表显示。
5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在显示装置上显示第二图像的显示方法是能够改变的，以突出显示在所述多个批次的处理条件当中的具有差异的处理条件。...
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