【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
显微镜学是使用显微镜更好地观察用肉眼难以看清的物体的。显微镜学的不同分支包括例如:光学显微镜学、带电粒子(电子和/或离子)显微镜学和扫描探针显微镜学。带电粒子显微镜学涉及使用加速的带电粒子束作为照明源。带电粒子显微镜学的类型包括例如:透射电子显微镜学、扫描电子显微镜学、扫描透射电子显微镜学和离子束显微镜学。
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种科学仪器支持装置,所述科学仪器支持装置包括:
2.根据权利要求1所述的科学仪器支持装置,其中,所述图像选择逻辑和所述训练逻辑中的至少一者由远离所述科学仪器的计算设备实施。
3.根据权利要求1至2所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个识别的特征包括线指示终止特征。
4.根据权利要求3所述的科学仪器支持装置,其中,所述图像选择逻辑通过生成针对所述一个或多个识别的特征的度量来确定所述一组图像是否满足所述一个或多个选择标准,其中,所述图像选择逻辑响应于所述度量满足预定阈值而确定所述一组图像满足所述一个或多个选择标准。
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【国外来华专利技术】
1.一种科学仪器支持装置,所述科学仪器支持装置包括:
2.根据权利要求1所述的科学仪器支持装置,其中,所述图像选择逻辑和所述训练逻辑中的至少一者由远离所述科学仪器的计算设备实施。
3.根据权利要求1至2所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个识别的特征包括线指示终止特征。
4.根据权利要求3所述的科学仪器支持装置,其中,所述图像选择逻辑通过生成针对所述一个或多个识别的特征的度量来确定所述一组图像是否满足所述一个或多个选择标准,其中,所述图像选择逻辑响应于所述度量满足预定阈值而确定所述一组图像满足所述一个或多个选择标准。
5.根据权利要求4所述的科学仪器支持装置,其中,所述度量基于从由以下各项组成的组中选择的至少一者的斜率:表示在所述一组图像中的每个图像中识别的特征的数量的曲线图、表示在所述一组图像中的每个图像中识别的特征面积的曲线图以及表示所述一组图像中的每个图像的特征距离的曲线图。
6.根据权利要求1至2所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个选择标准包括针对所述一个或多个识别的特征的特性的预定参考,并且其中,所述图像选择逻辑通过识别所述一个或多个识别的特征与所述预定参考相比的异常来确定所述一组图像是否满足所述一个或多个选择标准。
7.根据权利要求6所述的科学仪器支持装置,其中,针对所述一个或多个识别的特征的所述特性的所述预定参考包括从由以下各项组成的组中选择的至少一者:所述一个或多个识别的特征的预定参考大小、所述一个或多个识别的特征的预定参考数量、所述一个或多个识别的特征的预定参考位置、所述一个或多个识别的特征的预定参考形状以及所述一个或多个识别的特征中的两个识别的特征之间的预定参考距离。
8.根据权利要求1至2所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个选择标准包括所述一个或多个识别的特征的特性,并且其中,所述图像选择逻辑通过在多组图像上识别所述特性的模式来确定所述一组图像是否满足所述一个或多个选择标准。
9.根据权利要求8所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个识别的特征的所述特性包括从由以下各项组成的组中选择的至少一者:所述一个或多个识别的特征的大小、所述一个或多个识别的特征的数量、所述一个或多个识别的特征的位置、所述一个或多个识别的特征的形状以及所述一个或多个识别的特征中的两个识别的特征之间的距离。
10.根据权利要求1至2所述的科学仪器支持装置,其中,所述一个或多个...
【专利技术属性】
技术研发人员:B·J·拉尔森,O·马彻克,K·M·拉查斯,
申请(专利权)人:FEI公司,
类型:发明
国别省市:
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