【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
中已知的阴影掩膜可以被作为第三掩膜m31、m32使用。接着，如图1h所示，第二电极层700形成在一个表面上，例如第二导电电荷传输层600的顶面。此时，第二电极层700可以通过接触部p2接触第一电极层300。形成第二电极层700的工序可以在薄膜沉积腔中于低于大气压力的压力下进行。第二电极层700也会形成在第三掩膜m31、m32的顶面上。亦即，第二电极层700也会形成在第三边缘掩膜图案m31和第三隔器掩膜图案m32的顶面上。第二电极层700可以通过如mocvd或ald等中已知的各种薄膜沉积工艺形成。接着，如图1i所示，第三掩膜m31、m32从第一电极层300的一个表面被移除。然后，形成在第三掩膜m31、m32的顶面上的第二电极层700也被移除，并且因此，形成在接触部p2的内部和第二导电电荷传输层600的顶面上的第二电极层700会被留下。对于多个单元电池来说，多个第二电极层700彼此间隔开且第二分隔件p3插设于这些第二电极层700之间。此时，一个单元电池的第二电极层700会通过接触部p2电性连接到与其相邻的另一单元电池的第一电极层300，且因此多个单元电池会彼此串联...
【技术保护点】
1.一种钙钛矿太阳能电池的制造方法，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，在低于大气压力的压力下进行形成所述钙钛矿层的所述步骤。
3.如权利要求2所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，定位具有所述开口图案的所述掩膜的所述步骤包括用静电力使所述基板与所述掩膜紧密接触。
4.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，还包括通过移除所述掩膜并在所述基板上留下所述钙钛矿层来将所述钙钛矿层分隔为多个单元电池的步骤。
5.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，所述掩膜包括边缘掩膜...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种钙钛矿太阳能电池的制造方法，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，在低于大气压力的压力下进行形成所述钙钛矿层的所述步骤。
3.如权利要求2所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，定位具有所述开口图案的所述掩膜的所述步骤包括用静电力使所述基板与所述掩膜紧密接触。
4.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，还包括通过移除所述掩膜并在所述基板上留下所述钙钛矿层来将所述钙钛矿层分隔为多个单元电池的步骤。
5.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，所述掩膜包括边缘掩膜图案、接触掩膜图案和分隔件掩膜图案，
6.如权利要求4所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，还包括：
7.一种钙钛矿太阳能电池的制造方法，所述方法包括：
8.如权利要求7所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，形成所述钙钛矿层的所述步骤在低于大气压力的压力下进行。
9.如权利要求8所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，其中，定位具有所述开口图案的所述掩膜的所述步骤包括用静电力使所述基板与所述掩膜紧密接触。
10.如权利要求7所述的钙钛矿太阳能电池的制造方法，还包括通过移除所述掩膜并在所述基板上留下所述钙钛矿层来将所述钙钛矿层分隔为多个单...
【专利技术属性】
技术研发人员：金宰湖，黄喆周，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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