【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料制备领域，特别是涉及一种复合碳材料及其制备方法。
技术介绍
1、碳化钽作为一种过渡金属碳化物，不溶于水，微溶于硫酸和氢氟酸，溶于氢氟酸和硝酸，具有化学性质稳定、高熔点、高硬度、良好的导电性和抗热震性、较大的抗弯强度、以及较小的热膨胀系数等优异性质，常被用作添加剂或涂层材料。
2、在半导体材料加工过程中，碳化钽涂层能够为苛刻的半导体材料加工中的碳基体提供卓越的保护。碳化钽涂层极大程度延长碳基体的寿命，保持了反应化学计量，并抑制了杂质迁移到外延和晶体生长应用中，提高了产量和质量优势。而且，碳化钽涂层可在高温(高达2200℃)下保护关键熔炉和反应部件免受热氨、氢和硅蒸气以及熔融金属的影响。因此，在碳基体表面制备碳化钽涂层具有十分重要的应用意义。然而，目前在碳基体表面制备碳化钽涂层的方法中，存在涂层不致密、涂层质量不稳定、制备过程繁琐和制备成本高等问题。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种复合碳材料及其制备方法，能够在碳基体表面...
【技术保护点】
1.一种复合碳材料的制备方法，其特征在于，至少包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含钽化合物包括氧化钽、卤化钽和钽醇盐中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂包括乙醇、乙酰丙酮、苯、甲苯和四氢呋喃中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含钽化合物和所述有机溶剂的质量比为1:(1-5)。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，将所述含钽浆料均匀覆盖在所述碳基体的表面的方式，包括浸泡或涂覆中的任意一种。
6.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种复合碳材料的制备方法，其特征在于，至少包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含钽化合物包括氧化钽、卤化钽和钽醇盐中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂包括乙醇、乙酰丙酮、苯、甲苯和四氢呋喃中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述含钽化合物和所述有机溶剂的质量比为1:(1-5)。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，将所述含钽浆料均匀覆盖在所述碳基体的表面的方式，包括浸泡或涂覆中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的制备方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈豆，马远，潘尧波，
申请(专利权)人：中电化合物半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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