本技术涉及镀膜生产线设备技术领域，具体是一种镀膜生产线用进出料传送装置，包括箱体，所述箱体顶部的一侧内壁固定连接有送料架，所述送料架顶部内壁的四角处均固定连接有弹簧，所述弹簧的底端外壁均固定连接有压板，所述送料架的底部内壁滑动连接有靶材，所述送料架的底端外壁固定连接有固定槽框，所述箱体的一侧内壁固定连接有电机盒，所述电机盒的内壁安装有驱动电机；本技术在进行靶材的推动上料时，最底部的两块靶材之间插入顶升板，暂时分离使最底部的靶材在移动时不会受到上面靶材的摩擦，避免出现推动时产生的摩擦容易损坏靶材本身，且靶材堆叠越多推动越费力，摩擦损耗也更大的现象发生。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜生产线设备，特别是一种镀膜生产线用进出料传送装置。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。
2、经检索，现有专利公告号为cn218666237u的一种箱式真空镀膜机的进出料机构，能够将镀膜机工作时使用的靶材自动输送至镀膜设备内，从而进行镀膜处理，在进行镀膜送料时首先将靶材放置在靶材放置组件内，然后通过送料组件将靶材推动至一侧的镀膜机内，从而可进行镀膜时的自动送料工作。
3、但上述专利存在一定缺陷，每次在进行靶材的推动送料时，上一块被按压的靶材与最底部的靶材抵触连接，两块板材之间存在一定摩擦，推动时产生的摩擦容易损坏靶材本身，且靶材堆叠越多推动越费力，摩擦损耗也更大，降低了进出料传送装置的使用效率。
技术实现思路
>1、为了解决上述技本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种镀膜生产线用进出料传送装置，包括箱体(2)，其特征在于，所述箱体(2)顶部的一侧内壁固定连接有送料架(6)，所述送料架(6)顶部内壁的四角处均固定连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的底端外壁均固定连接有压板(4)，所述送料架(6)的底部内壁滑动连接有靶材(7)，所述送料架(6)的底端外壁固定连接有固定槽框(8)，所述箱体(2)的一侧内壁固定连接有电机盒(9)，所述电机盒(9)的内壁安装有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)输出轴的一端通过联轴器连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的外壁通过螺纹连接有推料架(12)，所述固定槽框(8)的两侧内壁均设置有滑轨，所述推料架(12)均...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜生产线用进出料传送装置，包括箱体(2)，其特征在于，所述箱体(2)顶部的一侧内壁固定连接有送料架(6)，所述送料架(6)顶部内壁的四角处均固定连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的底端外壁均固定连接有压板(4)，所述送料架(6)的底部内壁滑动连接有靶材(7)，所述送料架(6)的底端外壁固定连接有固定槽框(8)，所述箱体(2)的一侧内壁固定连接有电机盒(9)，所述电机盒(9)的内壁安装有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)输出轴的一端通过联轴器连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的外壁通过螺纹连接有推料架(12)，所述固定槽框(8)的两侧内壁均设置有滑轨，所述推料架(12)均滑动连接于滑轨内壁，所述固定槽框(8)顶端的两侧外壁均开设有矩形槽，所述矩形槽的内壁均滑动连接有顶升板(13)，所述顶升板(13)的一边外壁均固定连接有梯形板(15)。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线用进出料传送装置，其特征在于：所述顶升板(13...
【专利技术属性】
技术研发人员：周军萍，沈荣，
申请(专利权)人：苏州豪尔葳纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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