一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于光学校准相关技术领域，其公开了一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法，校准装置包括标准样品架，标准样品架包括金属架体，以及设于所述金属架体上的距离校准样品、衰减样品块和多个荧光十字标记，所述金属架体设于所述高精密样品定位系统。本申请可以解决小角X射线测量装置的样品架无法全方位校准的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学器件校准相关，更具体地，涉及一种用于小角x射线测量装置的校准装置及校准方法。

技术介绍

1、x射线散射测量方法是一种利用x射线照射到待测样品，产生散射光束，通过二维x射线探测器搜集散射信息，以获取待测样品信息的光学测量手段。在小角x射线散射测量领域，待测样品多为溶液(生物蛋白质溶液、胶体等)、粉末(金属粉末、分子筛等)和固体(塑料、陶瓷、纤维等)，所采用的曝光方式多为正入射，即直射光束与待测样品表面垂直或近似垂直，采集单次或多次重复曝光后小角范围内倒易空间的分布信息，从而完成待测样品分析。

2、对于某些有扫描角度测量需求的特殊样品(如：纳米结构等)，需要通过多入射角扫描获取散射强度在不同倒易空间位置处的相对变化，进而提取特殊样品的详细信息，这使得小角x射线散射测量装置各部件和相关仪器参数需要精准调节与校准。因此，需要一种小角x射线散射测量的校准装置及方法。

3、在小角x射线散射测量装置标定校准领域，标准样品、辅助校准材料、特制标准样品架等是被广泛使用的，其中，标准样品的散射信息可以直接计算或者查表得到，辅助校准材料本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于小角X射线测量装置的校准装置，所述小角X射线测量装置包括测量装置(100)和高精密样品定位系统(200)，其中，测量装置(100)沿光路方向依次包括X射线光源(110)、狭缝准直单元(130)、样品腔(140)以及X射线光子探测器(170)，所述高精密样品定位系统(200)设于所述样品腔(140)，其特征在于，所述校准装置包括：

2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，多个所述荧光十字标记(340)在同一水平线上。

3.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述光路方向为Z方向，垂直于Z方向的为XY平面，其中，水平方向为X方向，竖直方向为Y方...

【技术特征摘要】

1.一种用于小角x射线测量装置的校准装置，所述小角x射线测量装置包括测量装置(100)和高精密样品定位系统(200)，其中，测量装置(100)沿光路方向依次包括x射线光源(110)、狭缝准直单元(130)、样品腔(140)以及x射线光子探测器(170)，所述高精密样品定位系统(200)设于所述样品腔(140)，其特征在于，所述校准装置包括：

2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，多个所述荧光十字标记(340)在同一水平线上。

3.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述光路方向为z方向，垂直于z方向的为xy平面，其中，水平方向为x方向，竖直方向为y方向，所述高精密样品定位系统(200)包括：x方向位移台、y方向位移台、z方向位移台，绕y轴旋转的旋转位移台以及绕x轴旋转的摆动台。

4.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述光路方向为z方向，垂直于z方向的为xy平面，其中，水平方向为x方向，竖直方向为y方向，所述高精密样品定位系统(200)沿y轴方向依次包括：

5.根据权利要求1～4任意一项所述的校准装置，其特征在于，所述测量装置(100)还包括设于x射线光子探测器(170)前方的光束挡板(160)，以及设于x射线光源(110)和狭缝准直单元(130)之间的多层膜x射线光学器件(120)，所述多层膜x射线光学器件(120)用于对光束的准直和/或聚焦。

6.一种用于小角x射线测量装置的校准方法，所述小角x射线测量装置包括测量装置(100)和高精密...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈修国，崔仁铎，刘世元，张家豪，李仲禹，马骏，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：