【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有贯通孔的玻璃板的制造方法。
技术介绍
1、例如，作为拼接显示器(微led等)、无边框显示器、玻璃中介层等的基板，利用具有布线(贯通电极等)用的细微的贯通孔的玻璃板。
2、作为这种具有贯通孔的玻璃板的制造方法，例如，包括：改质工序，通过激光的照射将玻璃板中的贯通孔的形成预定位置改质而形成改质部；以及蚀刻工序，对包含改质部在内的形成预定部进行蚀刻而形成贯通孔(例如，参照专利文献1、2)。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2018一1 99605号公报
6、专利文献2：日本特开2020-66551号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、在上述的制造方法中，在改质工序中形成的改质部由于蚀刻速率比未改质的部分大，因此在蚀刻工序中被选择性地去除。因而，将改质部沿着玻璃板的板厚方向从第一主面形成到第二主面，从而能够通过蚀刻形成贯通孔。
3、在如此形成贯通孔的情况下，越是靠近玻璃板的主面的部分，由于长时间与蚀刻液接触，因此越容易被蚀刻，对于贯通孔的孔径而言，靠近主面的部分比板厚方向的中央部大，贯通孔的内壁面成为锥状。当如此玻璃板的主面的孔径变大时，可能产生在玻璃板的主面无法形成高精细的图案等不良情况。
4、贯通孔的内壁面相对于与板厚方向正交的方向的倾斜角度(贯通孔的内壁面与同板厚方向正交的方向所成的角度，以下简称为“内壁面的倾斜角度”)根据蚀刻条件而
5、本专利技术的课题在于增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
6、用于解决课题的方案
7、(1)为了解决上述的课题而做出的本专利技术为一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有第一主面、第二主面以及将第一主面与第二主面之间贯通的贯通孔，所述玻璃板的制造方法的特征在于，所述玻璃板的制造方法包括：改质工序，通过激光的照射将贯通孔的形成预定部改质；以及蚀刻工序，在改质工序之后，将玻璃板浸渍于蚀刻液而进行蚀刻，从而在形成预定部形成贯通孔，蚀刻工序包括：第一蚀刻工序，对形成预定部未贯通的玻璃板进行蚀刻；以及第二蚀刻工序，在第一蚀刻工序之后进行，对形成预定部贯通了的玻璃板进行蚀刻，使蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快。
8、本专利技术人等经过深刻研究的结果是得到如下见解：最终形成的贯通孔的内壁面的倾斜角度由(a)形成预定部贯通了时的形成预定部的内壁面的倾斜角度的大小、(b)形成预定部贯通之后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度决定。即，为了增大最终形成的贯通孔的倾斜角度，重要的是(a′)增大形成预定部贯通了时的形成预定部的内壁面的倾斜角度(接近90°)、(b′)使形成预定部贯通之后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度向正方向变化。
9、通过激光照射而改质了的形成预定部处于容易被蚀刻的状态。然而，在形成预定部未贯通的状态、即形成预定部为带底的凹部的状态下，蚀刻液无法在形成预定部的内部沿板厚方向往来。因此，即使在该状态下加快蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度，与玻璃板的主面处的蚀刻液的交换效率相比，形成预定部的凹部内的蚀刻液的交换效率未提升。换言之，即使加快蚀刻液的平均相对速度，对于蚀刻液的更替所需的时间而言，与玻璃板的主面相比，在形成预定部的凹部内也未变短。其结果是，玻璃板的仅主面附近的蚀刻被促进，主面的孔径优先扩大。由此，贯通时的形成预定部的内壁面的倾斜角度变小。另一方面，在形成预定部贯通了的状态下，蚀刻液能够在形成预定部的内部沿板厚方向往来。因此，若在该状态下加快蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度，则与玻璃板的主面处的蚀刻液的交换效率同样地，形成预定部的内部的蚀刻液的交换效率也提升。其结果是，能够使贯通后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度向正方向变化。因而，如上述的结构那样，若使蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快，则能够增大形成预定部贯通了时的形成预定部的内壁面的倾斜角度，并能够使形成预定部贯通之后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度向正方向变化。由此，能够增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
10、(2)在上述的(1)的结构中，优选的是，第二蚀刻工序在形成预定部贯通了时开始。
11、如此一来，能够从形成预定部贯通了时起提升形成预定部内的蚀刻的进行速度。因而，能够使形成预定部贯通之后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度更向正方向变化。由此，能够增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
12、(3)在上述的(1)或(2)的结构中，也可以是，在蚀刻工序中搅拌蚀刻液，使蚀刻液的平均搅拌速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快。
13、如此一来，能够使蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快。
14、(4)在上述的(1)～(3)的结构中，也可以是，在蚀刻工序中，使玻璃板在蚀刻液中移动，使玻璃板的平均移动速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快。
15、如此一来，能够使蚀刻液相对于玻璃板的平均相对速度在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中快。
16、(5)为了解决上述的课题而做出的本专利技术为一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有第一主面、第二主面以及将第一主面与第二主面之间贯通的贯通孔，所述玻璃板的制造方法的特征在于，所述玻璃板的制造方法包括：改质工序，通过激光的照射将贯通孔的形成预定部改质；以及蚀刻工序，在改质工序之后，向第一主面以及第二主面分别喷射蚀刻液而进行蚀刻，从而在形成预定部形成贯通孔，蚀刻工序包括：第一蚀刻工序，对形成预定部未贯通的玻璃板进行蚀刻；以及第二蚀刻工序，在第一蚀刻工序之后进行，对形成预定部贯通了的玻璃板进行蚀刻，使蚀刻液相对于玻璃板的平均喷射压力在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中高。
17、如此一来，根据与已叙述的同样的理由，若使由蚀刻液相对于玻璃板的喷射带来的平均喷射压力在第二蚀刻工序中比在第一蚀刻工序中大，则能够增大形成预定部贯通了时的形成预定部的内壁面的倾斜角度，并能够使形成预定部贯通之后的形成预定部的内壁面的倾斜角度的变化速度向正方向变化。由此，能够增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
18、(6)在上述(5)的结构中，优选的是，第二蚀刻工序在形成预定部贯通了时开始。
19、如此一来，能够更可靠地增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
20、专利技术效果
21、根据本专利技术，能够增大贯通孔的内壁面的倾斜角度。
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1.一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有第一主面、第二主面以及将所述第一主面与所述第二主面之间贯通的贯通孔，
2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
5.一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有第一主面、第二主面以及将所述第一主面与所述第二主面之间贯通的贯通孔，
6.根据权利要求5所述的玻璃板的制造方法，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有第一主面、第二主面以及将所述第一主面与所述第二主面之间贯通的贯通孔，
2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，
【专利技术属性】
技术研发人员：田中宏明，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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