【技术实现步骤摘要】
本技术涉及等离子处理，具体是一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门及真空系统。
技术介绍
1、现有的采用等离子体增强型化学气相沉积技术来进行电浆镀膜的装置一般都采用电容耦合式结构，该结构一般都包括有一个真空反应室，在该真空反应室内设置有两个上下相对设置的平板电极结构，被镀基板放在具有温控装置的下平板电极上，在该两个电极之间加正负电压以使得该两个平板电极之间辉光放电产生等离子体，等离子体在电场的作用下进行高速运动并与中性反应气体发生碰撞，从而使得中性反应气体分子变成离子状态或者处于激活状态而容易发生反应，这些具有高活性的反应物质很容易被吸附于被镀基板表面发生非平衡的化学反应而沉积到基板表面而生成薄膜。
2、为了实现真空环境，于是在装置的开口结合处使用橡胶圈密封。在实际的使用过程中，由于装置内部设置的电离源或者是微波源会产生电磁波或者微波，而橡胶形成的密封结构，尽管能够实现气体密封，但是波会从橡胶密封的间隙中辐射出真空环境，使外界环境中的气体电离成等离子体，进而对外界产生波干扰。
技术实现思路
1、为了避免和克服现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门及真空系统。本技术能够在保证气密性的同时，屏蔽电磁波的扩散。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，包括金属门框，所述金属门框与金属门板盖合的端面上开设有环形槽，金属门板对应的板面上安装有环形密封条，环形密封条弹性密封压缩在环形槽内；
4、作为本技术再进一步的方案：金属门框与金属密封条抵接的端面上开设有密封槽，密封槽的槽长方向沿着金属门框的环向布置；金属密封条对应的环面上安装有可密封压缩在密封槽内的环形的第二密封条。
5、作为本技术再进一步的方案：所述密封槽的横截面形状为三角波状，第二密封条的为三角波状配合的形状。
6、作为本技术再进一步的方案：环形密封条与两条金属密封条彼此配合形成横截面为t形的环状结构。
7、作为本技术再进一步的方案：环形密封条与金属密封条之间形成有可容纳环形密封条形变的间隙，环形密封条与两条金属密封条彼此配合形成横截面为m型的环状结构。
8、作为本技术再进一步的方案：包括依次彼此连通布置的清洗腔、过渡腔和镀膜腔；清洗腔、过渡腔和镀膜腔之间的连接处安装有密封门。
9、作为本技术再进一步的方案：镀膜腔与提供气体的气源彼此连通，且镀膜腔内还布置有可将气体激发成等离子体的微波源。
10、作为本技术再进一步的方案：所述镀膜腔和清洗腔之间连通有可将镀膜腔内的等离子体送入清洗腔中的导流管；所述导流管处安装有对等离子体进行抽吸的气泵。
11、作为本技术再进一步的方案：所述过渡腔内安装有用于将金属门板盖合在金属门框上或是金属门板与金属门框分离的机械手。
12、作为本技术再进一步的方案：所述环形密封条由橡胶材料制成。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
14、1、本技术在一个系统内集成了等离子体清洗和蒸镀两种工艺设备，该设备使用单一微波源，实现了两种不同工艺的大面积等离子体产生。这个微波源不仅能够产生用于样品镀膜的大面积等离子体，还可以作为远程等离子体，用于清洗腔中的样品表面。
15、2、本技术密封门结构具备双重功能，既能够在门体之间实现气密密封，又能够实现电磁屏蔽。这个密封门结构采用凹凸咬合设计，门体通过咬合结构完全锁定在一起，确保在真空状态下的气密性。此外，密封胶条的特殊设计，结合弹性金属材料的应用，有效地实现了电磁波的屏蔽，防止干扰和泄漏。
16、3、本技术的三个腔体连接结构和样品转移方法确保了工艺的流程连贯性和样品的传递效率。密封门的咬合结构使得腔体能够紧密连接，保障了样品在不同腔体之间的无污染传递。运动组件的运用则保证了样品的连续转移，避免了处理过程的中断。
17、4、本技术允许操作者根据不同的需求对关键参数进行调节，这些参数包括腔内压力、通入气体种类和微波功率。操作者可以根据不同的工艺需求，精确地调整这些参数，以实现不同领域的需求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，包括金属门框(10)，所述金属门框(10)与金属门板(20)盖合的端面上开设有环形槽(11)，金属门板(20)对应的板面上安装有环形密封条(21)，环形密封条(21)弹性密封压缩在环形槽(11)内；在金属门板(20)上且位于环形密封条(21)的两侧安装有环状的金属密封条(22)，金属密封条(22)压紧在金属门框(10)和金属门板(20)之间。
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，金属门框(10)与金属密封条(22)抵接的端面上开设有密封槽(12)，密封槽(12)的槽长方向沿着金属门框(10)的环向布置；金属密封条(22)对应的环面上安装有可密封压缩在密封槽(12)内的环形的第二密封条(221)。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，所述密封槽(12)的横截面形状为三角波状，第二密封条(221)的为三角波状配合的形状。
4.根据权利要求3所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，环形密封条(21)与两条金属密封条(22)
5.根据权利要求3所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，环形密封条(21)与金属密封条(22)之间形成有可容纳环形密封条(21)形变的间隙(23)，环形密封条(21)与两条金属密封条(22)彼此配合形成横截面为m型的环状结构。
6.真空系统，该真空系统应用如根据权利要求4或5所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，包括依次彼此连通布置的清洗腔(30)、过渡腔(40)和镀膜腔(50)；清洗腔(30)、过渡腔(40)和镀膜腔(50)之间的连接处安装有密封门。
7.根据权利要求6所述的真空系统，其特征在于，镀膜腔(50)与提供气体的气源(51)彼此连通，且镀膜腔(50)内还布置有可将气体激发成等离子体的微波源(52)。
8.根据权利要求7所述的真空系统，其特征在于，所述镀膜腔(50)和清洗腔(30)之间连通有可将镀膜腔(50)内的等离子体送入清洗腔(30)中的导流管(54)；所述导流管(54)处安装有对等离子体进行抽吸的气泵(53)。
9.根据权利要求8所述的真空系统，其特征在于，所述过渡腔(40)内安装有用于将金属门板(20)盖合在金属门框(10)上或使金属门板(20)与金属门框(10)分离的机械手。
10.根据权利要求9所述的真空系统，其特征在于，所述环形密封条(21)由橡胶材料制成。
...【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，包括金属门框(10)，所述金属门框(10)与金属门板(20)盖合的端面上开设有环形槽(11)，金属门板(20)对应的板面上安装有环形密封条(21)，环形密封条(21)弹性密封压缩在环形槽(11)内；在金属门板(20)上且位于环形密封条(21)的两侧安装有环状的金属密封条(22)，金属密封条(22)压紧在金属门框(10)和金属门板(20)之间。
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，金属门框(10)与金属密封条(22)抵接的端面上开设有密封槽(12)，密封槽(12)的槽长方向沿着金属门框(10)的环向布置；金属密封条(22)对应的环面上安装有可密封压缩在密封槽(12)内的环形的第二密封条(221)。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，所述密封槽(12)的横截面形状为三角波状，第二密封条(221)的为三角波状配合的形状。
4.根据权利要求3所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，环形密封条(21)与两条金属密封条(22)彼此配合形成横截面为t形的环状结构。
5.根据权利要求3所述的一种微波等离子体清洗蒸镀用密封门，其特征在于，环...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾亮，王少波，
申请(专利权)人：合肥博雷电气有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。