一种基于紫外激光的雷达-红外涂层图案的刻蚀工艺方法技术

本发明专利技术公开了一种基于紫外激光的雷达‑红外涂层图案的刻蚀工艺方法，涉及航空发动机雷达‑红外涂层的刻蚀工艺方法。在加工前，首先使用三维扫描仪对带有涂层的变形零件或表面曲率不规则的零件进行扫描，获得带有涂层零件的准确模型并建立带涂层零件与刻蚀设备之间的位置关系，避免了使用理论模型加工时的精度不足；然后提出一种基于UG的模型处理手段，使用UG软件进行预处理，使待加工图案准确地贴敷到零件表面而不是投影到其表面，避免了因模型曲率变化导致的图案失真；最后使用紫外激光进行涂层刻蚀，可有效避免涂层加工不彻底和过烧蚀的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及航空发动机雷达-红外涂层的刻蚀工艺方法，具体涉及一种基于紫外激光的雷达-红外涂层图案的刻蚀工艺方法。

技术介绍

1、目前的航空发动机雷达-红外兼容涂层一般由多层结构构成，首先在高温合金表面均匀涂覆一层粘接层，在粘接层之上依次是吸收层、红外层和选择层，其中选择层多为铂金等贵金属涂层。为了达到更好的低可探测性效果，降低构件的雷达反射面积（radarcross-section，rcs）及实现选择性电磁波调控，涂层表面需要经过微结构设计及图案加工，而图案的加工精度对发动机零件雷达反射面积的大小起着决定性的作用。

2、在激光加工领域，为了追求更高的加工效率，通常使用红外激光作为切割、标印的工具，但是大多数材料对红外波段的吸收率很大，容易造成过加工和烧伤氧化的现象。在实际生产时，涂层通常由等离子喷涂的方式制备，制备过程中基体变形在所难免，这也将对图案的刻蚀精度造成影响。同时，对于曲面零件，目前尚没有一种完善的，在不可展开曲面上进行图案贴敷的方法。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足，本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于紫外激光的雷达-红外涂层图案的刻蚀工艺方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于紫外激光的雷达-红外涂层图案的刻蚀工艺方法，其特征在于，所述步骤2具体包括如下步骤：

【技术特征摘要】

1.一种基于紫外激光的雷达-红外涂层图案的刻蚀工艺方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：于真鹤，杨淞皓，陈慧斌，杨林青，
申请(专利权)人：中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司，
类型：发明
国别省市：