本申请公开了一种射频测试机的校准电路、装置以及系统。其中，该校准电路分别连接于矢量信号主单元和功率信号源，包括：高效校准模块，其中，高效校准模块包括：开关阵列单元和端口单元，其中，开关阵列单元与功率信号源连接，用于接收功率信号；端口单元包括：射频发射端口和射频接收端口，射频发射端口连接矢量信号主单元，射频接收端口连接矢量信号主单元，开关阵列单元与射频发射端口连接；射频发射端口通过开关阵列单元与射频接收端口连接。本申请解决了射频测试机手动校准造成的校准效率及精度较低的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频测试，具体而言，涉及一种射频测试机的校准电路、装置以及系统。
技术介绍
1、目前，在进行芯片自动测试时，由于射频信号在测试系统的各个部件之间传输时会引入损耗，比如射频线、器件、接头等固有损耗以及电路失配引入的损耗；其次，射频测试系统在不同频率、不同功率下的增益曲线也不一致；最后，射频测试系统在不同环境下性能也存在差异，高温，老化等都会影响其性能。以上几点都需要通过定时的校准，来确保测试机的测试精度，因此射频测试机的校准显得非常有必要和意义。
2、目前射频测试机的校准技术，主要利用手动校准方式，其中，手动校准方式需要人工将校准件和测试设备的所有通道逐一进行连接，该方案校准精度、校准效率都会受到限制。
3、尤其现在主流的射频测试机，为了提高测试效率，降低测试成本，都在向多通道模式发展，如16通道，32通道，64通道等多通道测试机获得了市场的追捧。手动校准的方式极大地限制了校准效率，浪费大量人力成本，同时引入了更多的误差，降低测试精度。
4、针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
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【技术保护点】
1.一种射频测试机的校准电路，分别连接于矢量信号主单元和功率信号源，其特征在于，包括：高效校准模块，其中，
2.根据权利要求1所述的校准电路，其特征在于，所述高效校准模块还包括：功分器单元，其中，
3.根据权利要求2所述的校准电路，其特征在于，所述开关阵列单元包括：单刀双掷开关，其中，
4.根据权利要求3所述的校准电路，其特征在于，所述射频发射端口设置为n个，所述射频接收端口设置为n个，所述开关阵列单元包括n个单刀双掷开关，每个所述单刀双掷开关与每个所述射频发射端口和射频接收端口一一对应，其中，n为不小于1的正整数。
5.一种射频测试机的校...
【技术特征摘要】
1.一种射频测试机的校准电路，分别连接于矢量信号主单元和功率信号源，其特征在于，包括：高效校准模块，其中，
2.根据权利要求1所述的校准电路，其特征在于，所述高效校准模块还包括：功分器单元，其中，
3.根据权利要求2所述的校准电路，其特征在于，所述开关阵列单元包括：单刀双掷开关，其中，
4.根据权利要求3所述的校准电路，其特征在于，所述射频发射端口设置为n个，所述射频接收端口设置为n个，所述开关阵列单元包括n个单刀双掷开关，每个所述单刀双掷开关与每个所述射频发射端口和射频接收端口一一对应，其中，n为不小于1的正整数。
5.一种射频测试机的校准装置，其特征在于，包括：校准板和权利要求1-4中任意一项所述的射频测试机的校准电路，所述射频测试...
【专利技术属性】
技术研发人员：余益伟，任勇，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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