校准系统及其校准载板技术方案

一种校准系统及其校准载板，校准载板包含一基板、一电路布局图案及一转接板，电路布局图案位于基板上，包含第一共用电路群、第二共用电路群、第一中继线路与第二中继线路，第一共用电路群电连接校准载板之外的校准仪器及第一中继线路，第二共用电路群电连接校准载板之外的校准仪器及第二中继线路，转接板可更换地位于基板的一面，且电连接第一中继线路及第二中继线路。通过以上架构，校准系统不须更换整个校准载板，只需更换校准载板上的转接板，不仅减少中继路径的使用，也有助降低材料与仓储成本，不致提高载板设计复杂度，而降低业者的人力与成本负担。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种校准系统，尤指一种半导体量测设备上的校准系统及其校准载板。

技术介绍

1、一般来说，半导体量测设备上的通用插槽能够随着待测物(如ic晶片)的不同而搭配对应的功能板卡(如数字与电源类)，以提供特定项目的量测。在量测阶段开始之前，功能板卡需要搭配一校准载板，以让外部校准仪器对功能板卡进行自动化校正及验证程序。

2、在开始功能板卡的校正程序前，往往因应功能板卡的不同类型而需要更换匹配的校准载板，或者，虽然其类型相似而不需更换校准载板，但是由于校准载板与功能板卡的对接脚位不同，需要于原校准载板上修改继电路径，才能达成功能板卡与校准载板的对接。然而，无论是上述更换或修改载板的对策将分别导致材料与仓储成本的提高以及载板设计复杂度的提高，从而为业者带来人力与成本负担。

技术实现思路

1、本专利技术的一目的在于提供一种校准系统及其校准载板，用以解决以上先前技术所提到的困难。

2、依据本专利技术一实施例中，本专利技术提供一种校准系统包含一第一校准仪器、一第二校准仪器、一校准载板及一量本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种校准系统，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中该转接板上配置有一电子单元，该电子单元内具有该转接板的类型数据；以及

3.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中该量测设备还包含一内部校准模块；以及

4.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，还包含：

5.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，还包含：

6.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中所述功能板卡为数字逻辑时序量测卡、一般电源准位量测卡、较高电压准位量测卡及较高电流准位量测卡其中之一。

7.如权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种校准系统，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中该转接板上配置有一电子单元，该电子单元内具有该转接板的类型数据；以及

3.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中该量测设备还包含一内部校准模块；以及

4.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，还包含：

5.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，还包含：

6.如权利要求1所述的校准系统，其特征在于，其中所述功能板卡为数字逻辑时序量测卡、一般电源准位量测卡、较高电压准位量测卡及较...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨奕亨，杨苍奇，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：