一种梯度氧含量钒氧化合物薄膜及其制备方法与应用技术

技术编号:41871704 阅读:19 留言:0更新日期:2024-07-02 00:22
本发明专利技术涉及一种梯度氧含量钒氧化合物薄膜及其制备方法与应用。所述梯度氧含量钒氧化合物薄膜包括:衬底,形成在衬底表面的钒氧化合物缓冲层,由所述缓冲层同源异质外延形成的钒氧化合物热致变色层,以及形成在钒氧化合物热致变色层表面的钒氧化合物增透保护层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于钒氧化合物无机功能材料领域,具体涉及一种梯度氧含量钒氧化合物薄膜及其制备方法与应用


技术介绍

1、建筑取暖、制冷、采光以及通风所带来的建筑能耗已经成为了社会能耗的主要组成部分。相关统计显示,建筑能耗已经占到了社会总能耗的30%~40%,并且导致了全球约30%的人为温室气体的排放,控制建筑玻璃与外界的热光交换是降低建筑能耗的关键途径之一。

2、vo2的相变温度为68℃,是已知相变温度最接近室温的相变材料,通过金属-绝缘体转变(mit)过程,vo2在光学、电学和其他性能上表现出可逆变化。基于二氧化钒的智能玻璃因其温度响应智能、零能耗等优点被认为是建筑节能的有效解决方案。vo2通过调节太阳辐射光谱不同波长的透过率和反射率,可以控制热量逸出或注入封闭空间,从而有效调节建筑温度。

3、目前,vo2薄膜的制备方法主要有水热法、溶胶-凝胶法、化学气相沉积法(cvd)以及物理气相沉积法(pvd),其中pvd法与目前的玻璃制备工艺较为兼容。使用物理气相沉积法制备高结晶质量的vo2,从而实现高太阳调制性(δtsol)、灵敏度以及长寿命利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述梯度氧含量钒氧化合物薄膜包括:衬底,形成在衬底表面的钒氧化合物缓冲层,由所述缓冲层同源异质外延形成的钒氧化合物热致变色层,以及形成在钒氧化合物热致变色层表面的钒氧化合物增透保护层。

2.根据权利要求1所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述衬底选自普通浮法玻璃、石英玻璃或者蓝宝石中的一种,厚度为0.1mm~10cm。

3.根据权利要求1或2所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述缓冲层可以为V2O3或V6O13,厚度为2~150nm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的梯度氧含量钒氧化...

【技术特征摘要】

1.一种梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述梯度氧含量钒氧化合物薄膜包括:衬底,形成在衬底表面的钒氧化合物缓冲层,由所述缓冲层同源异质外延形成的钒氧化合物热致变色层,以及形成在钒氧化合物热致变色层表面的钒氧化合物增透保护层。

2.根据权利要求1所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述衬底选自普通浮法玻璃、石英玻璃或者蓝宝石中的一种,厚度为0.1mm~10cm。

3.根据权利要求1或2所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述缓冲层可以为v2o3或v6o13,厚度为2~150nm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述热致变色层为vo2,厚度为20~300nm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜,其特征在于,所述增透保护层为非晶v2o5,厚度为5~300nm。

6.一种权利要求1-5中任一项所述的梯度氧含量钒氧化合物薄膜的制备方法,其特征在于,包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:曹逊李众少黄爱彬李诚聪
申请(专利权)人:中国科学院上海硅酸盐研究所
类型:发明
国别省市:

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