【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材固定,具体为一种镁靶材包装固定装置。
技术介绍
1、镁靶材包装固定装置是用于包装固定镁靶材的设备,但现有的镁靶材包装固定装置仍然存在不足之处,具体为:现有的镁靶材包装固定装置对镁靶材的保护效果较差。
2、因此,需要一种镁靶材包装固定装置来解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种镁靶材包装固定装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、一种镁靶材包装固定装置,包括固定架,所述固定架的内壁设置有固定机构,所述固定架的外壁且在固定机构对应位置处转动连接有定位销,所述定位销的内部固定连接有内螺纹套筒;
4、所述固定机构包括滑动连接在固定架内部的夹板,所述夹板的外壁且在固定架内固定连接有导向杆,所述夹板的外壁且在靠近导向杆位置处固定连接有压紧弹簧,所述夹板的外壁固定连接有缓冲垫,所述固定架的内部固定连接有转轴,所述转轴的外壁且在固定架的正面和背面均转动连接有托
...【技术保护点】
1.一种镁靶材包装固定装置,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的内壁设置有固定机构(2),所述固定架(1)的外壁且在固定机构(2)对应位置处转动连接有定位销(3),所述定位销(3)的内部固定连接有内螺纹套筒(4);
2.根据权利要求1所述的一种镁靶材包装固定装置,其特征在于:所述固定架(1)和定位销(3)均由不锈钢制成,所述固定架(1)为环形结构设计。
3.根据权利要求1所述的一种镁靶材包装固定装置,其特征在于:所述夹板(201)、导向杆(202)、转轴(205)以及连接螺杆(209)均由铝合金制成,所述夹板(201)、导向杆(20
...【技术特征摘要】
1.一种镁靶材包装固定装置,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的内壁设置有固定机构(2),所述固定架(1)的外壁且在固定机构(2)对应位置处转动连接有定位销(3),所述定位销(3)的内部固定连接有内螺纹套筒(4);
2.根据权利要求1所述的一种镁靶材包装固定装置,其特征在于:所述固定架(1)和定位销(3)均由不锈钢制成,所述固定架(1)为环形结构设计。
3.根据权利要求1所述的一种镁靶材包装固定装置,其特征在于:所述夹板(201)、导向杆(202)、转轴(205)以及连接螺杆(209)均由铝合金制成,所述夹板(201)、导向杆(202)以及转轴(205)均设置有四组,所述托板(206)为...
【专利技术属性】
技术研发人员:王永超,赵泽良,卢俊男,李心然,冯越,段于奇,王永康,李洋洋,杨志刚,陈渊博,张亚萌,张霖,王留土,
申请(专利权)人:河南东微电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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