【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及射频电源监测，更具体地说，是涉及一种射频电源实时数据监测系统与设备异常识别方法。
技术介绍
1、随着镀膜、半导体设备等领域的技术进步，相关工艺条件日趋复杂，对设备性能的要求也水涨船高，射频电源作为这些领域中的核心组件，其稳定运行对整体设备的效能至关重要。然而，在实际应用中，用户在调试或使用半导体、镀膜等设备的过程中往往会出现各种预想不到的、未知的异常问题，这些问题严重影响设备的正常运转，对设备的使用及后续生产工作带来很大的问题。
2、传统的故障排查方法，如经验法和替换法，虽然在一定程度上能够解决问题，但效率低下，且往往耗费大量时间，这些方法在面对复杂问题时，其局限性尤为明显，因为它们往往依赖于操作人员的经验和对设备的深入了解，在效率上难以支持设备的稳定使用与后续生产活动的顺畅进行。
技术实现思路
1、为了提高镀膜、半导体设备遇到异常时的故障排查效率，本专利技术提供一种射频电源实时数据监测系统与设备异常识别方法，通过对射频电源的实时数据监测，能够实时监控射频电源的关...
【技术保护点】
1.一种设备异常识别方法，其特征在于，一种射频电源实时数据监测系统包括FPGA模块、网络模块及MCU，射频电源与异常设备连接，射频电源与FPGA模块连接，FPGA模块通过网络模块连接电脑上位机，电脑上位机通过第一通讯模块连接MCU，MCU通过第二通讯模块连接FPGA模块；
2.根据权利要求1中所述的一种设备异常识别方法，其特征在于，FPGA模块通过集成的矢量网络分析功能或外部连接的矢量网络分析仪，对射频电源输出的射频信号进行测量并采集射频电源输出的射频信号的幅度与相位信息；利用采集的射频信号的幅度与相位信息，FPGA模块计算射频电源的S参数，通过数学变换，...
【技术特征摘要】
1.一种设备异常识别方法，其特征在于，一种射频电源实时数据监测系统包括fpga模块、网络模块及mcu，射频电源与异常设备连接，射频电源与fpga模块连接，fpga模块通过网络模块连接电脑上位机，电脑上位机通过第一通讯模块连接mcu，mcu通过第二通讯模块连接fpga模块；
2.根据权利要求1中所述的一种设备异常识别方法，其特征在于，fpga模块通过集成的矢量网络分析功能或外部连接的矢量网络分析仪，对射频电源输出的射频信号进行测量并采集射频电源输出的射频信号的幅度与相位信息；利用采集的射频信号的幅度与相位信息，fpga模块计算射频电源的s参数，通过数学变换，从s参数中提取出阻抗的实部与虚部，并计算出阻抗的模值和相位角。
3.根据权利要求3中所述的一种设备异常识别方法，其特征在于，fpga模块分析运算获得射频电源的阻抗值的工作过程包括：
4.根据权利要求1中所述的一种设备异常识别方法，其特征在于，fpga模块采集射频电源内置的定向耦合器的射频信号，将射频信号经模数转换后形成电压值及相关电压数据，通过计算公式计算获得射频电源的正向功率与反射功率。
5.根据权利要求1中所述的一种设备异常识别方法，其特征在于，fpga模块采集射频电源内置的定向耦合器或外置的射频功率传感器的射频信号，将射频信...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝海斌，邓顶阳，张振伟，
申请(专利权)人：深圳市广能达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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