【技术实现步骤摘要】
本技术涉及插板阀，尤其涉及一种微正压插板阀。
技术介绍
1、真空插板阀是用于隔离真空管道，阻断气流通过的阀门，是一种重要的真空元件。现有的真空插板阀结构以电控结构为主，通过伺服电机等结构输出周数可控的旋转运动，再通过别的机械结构转换为进给量可控的直线进给运动推动阀板，或直接通过直线电机输出进给，往往阀芯结构比较复杂，因而阀芯的重量较重，而且为保证其密封效果，对阀芯和壳体的配合精度要求比较高，对其零件的精度要求也高，因此导致加工难度大，制造成本高。特别是当阀门的壳体因抽真空产生内凹变形时，其阀芯容易被卡死在关阀的位置，导致阀芯不能打开，因此该类型阀门对壳体的强度要求极高。
技术实现思路
1、本技术提供一种微正压插板阀，用以解决现有技术中最适宜微正压并防止阀板卡死的问题。
2、本技术提供一种微正压插板阀，包括驱动结构、安装框架、驱动体和阀板；所述驱动结构固定在所述安装框架的上部中间位置，穿过所述安装框架的上横梁固定连接所述驱动体，所述驱动体铰接所述阀板。
3、根据本技术...
【技术保护点】
1.一种微正压插板阀，其特征在于，包括驱动结构、安装框架、驱动体和阀板；所述驱动结构固定在所述安装框架的上部中间位置，穿过所述安装框架的上横梁固定连接所述驱动体，所述驱动体铰接所述阀板。
2.根据权利要求1所述的微正压插板阀，其特征在于，所述驱动结构包括气缸和波纹推杆，所述气缸设置在所述波纹推杆的上方，所述波纹推杆固定连接所述驱动体的中部位置。
3.根据权利要求2所述的微正压插板阀，其特征在于，所述驱动体两侧设置有导向轮。
4.根据权利要求3所述的微正压插板阀，其特征在于，所述阀板两侧设置有阀板轮，所述阀板轮设置在所述导向轮中间。<...
【技术特征摘要】
1.一种微正压插板阀，其特征在于，包括驱动结构、安装框架、驱动体和阀板；所述驱动结构固定在所述安装框架的上部中间位置，穿过所述安装框架的上横梁固定连接所述驱动体，所述驱动体铰接所述阀板。
2.根据权利要求1所述的微正压插板阀，其特征在于，所述驱动结构包括气缸和波纹推杆，所述气缸设置在所述波纹推杆的上方，所述波纹推杆固定连接所述驱动体的中部位置。
3.根据权利要求2所述的微正压插板阀，其特征在于，所述驱动体两侧设置有导向轮。
4.根据权利要求3所述的微正压插板阀，其特征在于，所述阀板两侧设置有阀板轮，所述阀板轮设置在所述导...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵永先，张延中，周永军，文爱新，
申请(专利权)人：中科同帜半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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