【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶体生长炉,特别涉及一种单晶体生长炉的热屏装置。
技术介绍
1、现有单晶硅晶体生长炉中,具有保温和气体导流的双重作用,加大了生长界面的温度梯度和晶体散热速度,可有效解决晶体生长过程中产生的扭曲变形情况,改善晶体质量和成品率;同时由于热屏的引入可有效降低化料及拉晶时的功率,节约能耗。
2、但是现有的热屏装置为固定安装,维修与安装较复杂,且难以适应多种不同的规格,经过检索后发现,申请号为cn201020632882.0的技术提供的技术方案同样存在上述的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种单晶体生长炉的热屏装置,通过设置第一双头电机、第一丝杠、第一滑块、第一移动电源、电动伸缩杆、外框使热屏本体适应多种规格的生长炉,同时通过设置转动电机、电刷、底板使加热均匀,通过设置第二双头电机、第二丝杠、第二滑块、夹持板对生长炉进行固定使安装与拆卸更简单。
2、为实现上述目的,本技术还提供具有一种单晶体生长炉的热屏装置,包括
...【技术保护点】
1.一种单晶体生长炉的热屏装置,其特征在于,包括:支架(1),所述支架(1)的上内壁固定连接有电刷(2),所述电刷(2)的上表面转动连接有底板(16),所述底板(16)的内表面固定连接有第一双头电机(4),所述第一双头电机(4)的输出端固定连接有第一丝杠(5),所述第一丝杠(5)的外表面螺纹连接有第一滑块(6),所述第一滑块(6)的上表面固定连接有第一移动电源(7),所述第一移动电源(7)的输出端电性连接有电动伸缩杆(8),所述电动伸缩杆(8)的上表面固定连接有外框(9),所述外框(9)的内表面固定连接有热屏本体(10),所述支架(1)的上内壁固定连接有转动电机(3)
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【技术特征摘要】
1.一种单晶体生长炉的热屏装置,其特征在于,包括:支架(1),所述支架(1)的上内壁固定连接有电刷(2),所述电刷(2)的上表面转动连接有底板(16),所述底板(16)的内表面固定连接有第一双头电机(4),所述第一双头电机(4)的输出端固定连接有第一丝杠(5),所述第一丝杠(5)的外表面螺纹连接有第一滑块(6),所述第一滑块(6)的上表面固定连接有第一移动电源(7),所述第一移动电源(7)的输出端电性连接有电动伸缩杆(8),所述电动伸缩杆(8)的上表面固定连接有外框(9),所述外框(9)的内表面固定连接有热屏本体(10),所述支架(1)的上内壁固定连接有转动电机(3);
2.根据权利要求1所述的一种单晶体生长炉的热屏装置,其特征在于,所述第一双头电机(4)的输入端电性连接有第二移动电源(15),所述第二移动电源(15)的外表面与底板(16)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶体生长炉的热屏装置,其特征在于,所述第一滑块(6)的外表面与底板(16)滑动连接,所述第一丝杠...
【专利技术属性】
技术研发人员:李充,李震,
申请(专利权)人:内蒙古科晟科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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