【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于变形镜，尤其涉及一种贴片式变形镜及其制备方法。
技术介绍
1、随着科技的进步，自适应光学技术在激光装置、天文观测等
的光束质量控制中扮演着日益重要的角色。在这些
中，变形镜作为关键组件，负责调节光束的形状和质量，从而影响着光学系统的性能表现。然而，传统的变形镜存在一些不足之处，包括体积和重量较大、制造工艺复杂、响应速度较慢、精度和稳定性不足、易受外部干扰等问题。这些缺陷限制了其在特定应用场景中的适用性。
2、近年来，贴片式变形镜作为一种新型的变形镜类型，逐渐受到关注并得到广泛应用。贴片式变形镜采用片上集成技术，将压电陶瓷片极化后直接粘附在变形镜片上，避免出现叠堆式变形镜机械结构带来的系统误差，具有尺寸小、重量轻、制造工艺简单等优势。与传统的变形镜相比，贴片式变形镜具有更高的集成度、更快的响应速度、更高的分辨率和更稳定的性能特点，适用于多种需要精密光学像差调控的应用场景。
3、贴片式变形镜的制备工艺通常将整片压电陶瓷片极化后再进行整片粘附和切割工艺，切割工艺一般激光热切割方式和水刀冷切割方...
【技术保护点】
1.一种贴片式变形镜，其特征在于：包括变形镜镜片、压电陶瓷片、上层导电胶、下层导电胶和柔性电路板；其中，所述变形镜镜片的上表面镀铝形成镜面，所述变形镜镜片的下表面蒸镀银电极形成均匀的银电极导电层；在所述压电陶瓷片的上表面和下表面分别制备银电极导电层作为所述压电陶瓷片的阴极和阳极，所述压电陶瓷片的阴极通过所述上层导电胶与所述变形镜镜片的银电极导电层粘结，所述压电陶瓷片的阳极通过所述下层导电胶与所述柔性电路板粘结。
2.根据权利要求1所述的贴片式变形镜，其特征在于：所述压电陶瓷片为多边形压电陶瓷片或圆形压电陶瓷片。
3.根据权利要求1或2所述的贴片...
【技术特征摘要】
1.一种贴片式变形镜，其特征在于：包括变形镜镜片、压电陶瓷片、上层导电胶、下层导电胶和柔性电路板；其中，所述变形镜镜片的上表面镀铝形成镜面，所述变形镜镜片的下表面蒸镀银电极形成均匀的银电极导电层；在所述压电陶瓷片的上表面和下表面分别制备银电极导电层作为所述压电陶瓷片的阴极和阳极，所述压电陶瓷片的阴极通过所述上层导电胶与所述变形镜镜片的银电极导电层粘结，所述压电陶瓷片的阳极通过所述下层导电胶与所述柔性电路板粘结。
2.根据权利要求1所述的贴片式变形镜，其特征在于：所述压电陶瓷片为多边形压电陶瓷片或圆形压电陶瓷片。
3.根据权利要求1或2所述的贴片式变形镜，其特征在于：还包括镜片支架和变形镜安装座，所述镜片支架螺纹连接在所述变形镜安装座内，所述变形镜镜片固定在...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐瑞，于志强，杨嘉豪，田大鹏，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。