【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例系关于一种用于加工由例如铝碳化硅(alsic)的铝合金制成的工件的系统和方法。
技术介绍
1、铝及其合金由于其重量轻和强度重量比高而常用于工业中。例如,铝碳化硅(alsic)材料具有一些独特的材料特性,使其成为需要热管理解决方案的电子封装应用的理想选择。alsic的热膨胀系数(cte)值与直接连接集成电路器件的最大热耗散兼容。alsic的低材料密度使其成为便携式设备等对重量敏感的应用的理想选择。材料的强度和刚度比铝金属高约三倍,可以满足结构封装的要求。此外,alsic还是一种封装材料,可用于保护对环境敏感的电子元件。此外,这种复合材料具有导电性并提供emi/rfi屏蔽。
2、在传统的计算机数字控制(computer numerical control,cnc)加工中,使用各种加工操作(例如车削、钻孔、铣削和螺纹加工)来制造所需的形状。在加工过程中,铝合金使用类金刚石材料进行加工,例如类金刚石碳(dlc)。然而,由于铝合金是通过纯机械活动(即不发生电化学活动)加工的,因此在这些材料的加工过程中会出现一些问题,...
【技术保护点】
1.一种工件加工系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述研磨构件由导电金属粉末和非导电磨粒组成的材料制成。
3.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述工件加工系统还包括换能器，所述换能器连接至所述电解液供应管线以向所述电解液产生超声波能量。
4.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述固持模块包括：
5.根据权利要求4所述的工件加工系统，其特征在于，还包括流体输送构件，所述流体输送构件配置为在所述导电基座旋转时提供所述导电基座的所述流体通道与所述真空源之间的流
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种工件加工系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述研磨构件由导电金属粉末和非导电磨粒组成的材料制成。
3.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述工件加工系统还包括换能器，所述换能器连接至所述电解液供应管线以向所述电解液产生超声波能量。
4.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述固持模块包括：
5.根据权利要求4所述的工件加工系统，其特征在于，还包括流体输送构件，所述流体输送构件配置为在所述导电基座旋转时提供所述导电基座的所述流体通道与所述真空源之间的流体连通。
6.根据权利要求5所述的工件加工系统，其特征在于，所述流体输送构件包括：
7.根据权利要求4所述的工件加工系统，其特征在于，所述固持模块还包括：
8.根据权利要求4所述的工件加工系统，其特征在于，所述导电基座的顶表面包括多个凸起，且所述导电多孔构件包括相对于所述凸起配置的多个沟槽。
9.根据权利要求4所述的工件加工系统，其特征在于，所述导电多孔构件由选自由不锈钢、钛合金及碳化钨组成的群组的材料制成。
10.根据权利要求1所述的工件加工系统，其特征在于，所述工件加工系统还包括：
11.根据权利要求10所述的工件加工系统，其特征在于，所述工件加工系统还包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：杨曜光，蓝坤志，范智文，陈炤彰，
申请(专利权)人：亚毅精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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