一种用于监控激光机床的激光加工过程的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于监控激光机床的激光加工过程的方法，特别是雕刻纹理或雕刻腔体的过程，在激光机床中提供激光源，并且激光源通过激光束控制信号来控制，以向工件表面发射脉冲激光束以烧蚀工件材料，其中，激光束和工件材料的相互作用产生等离子体。该方法包括：a.通过感测装置，特别是光电二极管，检测所产生的等离子体的光发射并产生等离子体信号，其中，在光电二极管前方提供滤光器，以滤除反射的激光束的波长；以及b.通过信号处理单元接收等离子体信号和激光束控制信号，其中，等离子体信号是包括多个脉冲的电信号；以及c.通过信号处理单元根据等离子体信号的脉冲来确定特征值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于监控激光机床的激光加工过程的方法。此外，本专利技术涉及激光机床。

技术介绍

1、激光烧蚀方法广泛用于通过使物体表面的材料升华来在实体物体表面雕刻纹理或腔体。例如在文献de 4209933 a1中描述了用于在物体表面产生期望的结构或纹理的原理。该过程可以视为“反向光固化”，而不是增加构建覆层，通过激光加工使材料逐层升华，例如在另外的公开ep 1189724 a0和wo 0074891 a1中也有描述。

2、通过激光烧蚀加工物体的机床也是众所周知的。例如，欧洲专利申请ep 2301706a2描述了这样的设备的一种可能的技术设计。该机床包括物体固持器和激光头，要将待加工的三维固体物体安装到该物体固持器上，并且激光头用于向物体上发射激光束以去除材料。可想到若干机器构造。例如，可在三个轴(笛卡尔x、y、z系统)上线性移动的物体固持器或激光头。优选地，为了允许更高的准确度和灵活度，物体固持器或激光头还能够绕两个旋转轴高精度地旋转。

3、在将机床的激光头定位在限定位置后，激光束可以在有限的范围内移动。激光束的移动可以使用不同的光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于监控激光加工过程的方法，特别是用于通过激光机床(100)在工件上雕刻纹理或雕刻腔体的过程，在激光机床(100)中提供激光源(1)，并且激光源通过激光束控制信号来控制，以向工件(7)表面发射脉冲激光束以烧蚀工件材料，其中，激光束和工件材料的相互作用产生等离子体，该方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，信号处理单元被配置为确定等离子体信号的脉冲幅度的峰值作为特征值。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，信号处理单元被配置为确定等离子体信号的至少一个脉冲的幅度的峰值的平均值作为特征值。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，...

【技术特征摘要】

1.一种用于监控激光加工过程的方法，特别是用于通过激光机床(100)在工件上雕刻纹理或雕刻腔体的过程，在激光机床(100)中提供激光源(1)，并且激光源通过激光束控制信号来控制，以向工件(7)表面发射脉冲激光束以烧蚀工件材料，其中，激光束和工件材料的相互作用产生等离子体，该方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，信号处理单元被配置为确定等离子体信号的脉冲幅度的峰值作为特征值。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，信号处理单元被配置为确定等离子体信号的至少一个脉冲的幅度的峰值的平均值作为特征值。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，烧蚀以逐个划线的方式进行，并且每个划线代表一条加工路径，通过将激光束控制信号连续设置为高幅度，通过多个激光脉冲相继烧蚀该加工路径，并且信号处理单元被配置为确定划线平均值作为特征值，其中，划线平均值定义为在烧蚀一个划线期间产生的等离子体信号的脉冲幅度的峰值的平均值。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，划线被分成多个段，并且针对至少一个段确定段平均值作为特征值，其中，段平均值定义为在烧蚀一个段期间产生的等离子体信号的脉冲的幅度的峰值的平均值。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的方法，其中，信号处理单元包括被定义为划...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·杰奎斯，D·孔塞尔，
申请(专利权)人：乔治费歇尔加工方案股份公司，
类型：发明
国别省市：