【技术实现步骤摘要】
本技术涉及喷头清洗装置，具体为一种黑色光刻胶喷头清洗装置。
技术介绍
1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶，反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。在对光刻胶喷头进行清理的时候，就需要用到光刻胶喷头清洗装置，如申请号为202121914617.6名为一种光刻胶喷头清洗装置。所述光刻胶喷头清洗装置包括机体和减震结构，机体上安装有转动连接的机盖，且机盖上设置有锁紧结构，且锁紧结构包括按钮、通槽、凹槽、固定杆、锁杆、锁定块和压簧，按钮插设在机盖上开设的通槽中并与通槽滑动连接，且按钮上开设有凹槽，固定杆的两端均固定安装在通槽的内侧壁上，且固定杆上串接有两根滑动连接的锁杆，锁杆的一端插设在凹槽...
【技术保护点】
1.一种黑色光刻胶喷头清洗装置，包括内层固定圈（1），所述内层固定圈（1）上设置有旋转轴承（2），所述旋转轴承（2）内环与内层固定圈（1）焊接连接，所述旋转轴承（2）外环上设置有防锈水管（3），所述防锈水管（3）与旋转轴承（2）外环焊接连接；
2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶喷头清洗装置，其特征在于：所述高压水泵（6）在远离断流阀（5）的一端上设置有外接水管连接口（4），所述外接水管连接口（4）与高压水泵（6）为一体设置。
3.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶喷头清洗装置，其特征在于：所述内层固定圈（1）上开设有喷头插入孔（8），所述喷...
【技术特征摘要】
1.一种黑色光刻胶喷头清洗装置，包括内层固定圈（1），所述内层固定圈（1）上设置有旋转轴承（2），所述旋转轴承（2）内环与内层固定圈（1）焊接连接，所述旋转轴承（2）外环上设置有防锈水管（3），所述防锈水管（3）与旋转轴承（2）外环焊接连接；
2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶喷头清洗装置，其特征在于：所述高压水泵（6）在远离断流阀（5）的一端上设置有外接水管连接口（4），所述外接水管连接口（4）与高压水泵（6）为一体设置。
3.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶喷头清洗装置，其特征在于：所述内层固定圈（1）上开设有喷头插入孔（8），所述喷头插入孔（8）与内层固定圈（1）为一体...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗健，李红岩，
申请(专利权)人：江苏博砚电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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