用于辐射的位置分辨检测的辐射检测器制造技术

技术编号:41799828 阅读:33 留言:0更新日期:2024-06-24 20:22
一种用于辐射的位置分辨检测的辐射检测器包括具有对辐射敏感的传感器材料(11)的至少一个传感器瓦片(1)。传感器瓦片(1)限定由第一轴(x)和与第一轴(x)正交的第二轴(y)跨越的水平平面。导电材料的一组传感器像素(12)布置在水平平面中并与传感器材料(11)接触。该组包括内传感器像素(12<subgt;i</subgt;)的子组,其中内传感器像素(12<subgt;i</subgt;)在第一轴(x)和第二轴(y)的每个方向上具有相邻传感器像素(12)。子组的至少两个相邻的内传感器像素(12i)示出沿着第二轴(y)的延伸超过沿着第一轴(x)的延伸。辐射检测器还包括至少一个读出芯片(2),所述至少一个读出芯片指定给至少一个传感器瓦片(1)并且沿着第一轴(x)和第二轴(y)延伸。读出芯片(2)包括一组集成读出电路(21),其中该组的每个读出电路(21)电连接到该组的传感器像素(12)中的一个以用于从指定传感器像素(12)读出电荷条目。该组读出电路(21)包括内读出电路(21<subgt;i</subgt;)的子组,其中内读出电路(21<subgt;i</subgt;)在第一轴(x)和第二轴(y)的每个方向上具有读出电路(21)。指定并连接到两个相邻的内传感器像素(12<subgt;i</subgt;)的两个内读出电路(21<subgt;i</subgt;)中的每一个示出沿着第一轴(x)的延伸不同于指定传感器像素(12<subgt;i</subgt;)沿着第一轴(x)的延伸(x<subgt;d</subgt;),和/或沿着第二轴(y)的延伸不同于指定传感器像素(12<subgt;i</subgt;)沿着第二轴(y)的延伸(y<subgt;d</subgt;)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种用于辐射的位置分辨检测的辐射检测器


技术介绍

1、现有技术的混合像素检测器(hpd)包括像素化传感器瓦片,所述像素化传感器瓦片逐像素地连接到读出芯片。在现有技术的hpds中,通常使用半导体作为传感器瓦片的传感器材料。更具体地,传感器瓦片的顶侧包括连续电极,而传感器瓦片的底侧包括与传感器材料接触并彼此隔离的金属化层和/或导电层形式的分离电极。这种金属化有助于传感器像素。传感器像素连接到读出芯片的指定读出电路。每个金属化借助于通过凸块下金属化(ubm)工艺制造的凸块接合连接到指定读出电路的触点。这种触点也可以称为读出芯片的电极。

2、期望检测和测量的电离辐射与传感器材料相互作用并在传感器材料中沉积能量。沉积的能量转换成传感器材料中的电子-空穴对。在传感器材料中,通过在传感器的顶侧电极上施加电压并将虚拟接地设置到指定读出电路的第一放大级的输入来形成电场。因此在指定读出电路中处理在传感器像素中的一个中收集的电荷。

3、现有技术的混合像素检测器具有通常具有方形形状的传感器像素。该设计适用于许多应用,例如计算机断层摄影、x射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于辐射的位置分辨检测的辐射检测器,其包括

2.根据权利要求1所述的辐射检测器,

3.根据权利要求1或2所述的辐射检测器,

4.根据权利要求1或2所述的辐射检测器,

5.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

6.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

7.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

8.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

9.根据权利要求8所述的辐射检测器,

10.根据权利要求8或9所述的辐射检测器,

11.根据权利要求9或10所述的辐射检测器,...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于辐射的位置分辨检测的辐射检测器,其包括

2.根据权利要求1所述的辐射检测器,

3.根据权利要求1或2所述的辐射检测器,

4.根据权利要求1或2所述的辐射检测器,

5.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

6.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

7.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

8.根据任一项权利要求所述的辐射检测器,

9.根据权利要求8所述的辐射检测器,

10.根据权利要求8或9所述的辐射检测器,

【专利技术属性】
技术研发人员:M·里西T·多纳特C·迪施
申请(专利权)人:德克特里斯股份公司
类型:发明
国别省市:

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