小型化非谐振式光声CO2传感器及检测方法技术

本发明专利技术属于环境气体检测领域，具体提供一种小型化非谐振式光声CO<subgt;2</subgt;传感器及检测方法，用以解决传统CO<subgt;2</subgt;气体传感器体积较大、成本高、不利于日常使用等问题。本发明专利技术利用smd封装的MEMS红外光源和非谐振式光声池结构，实现了传感器体积的大幅缩小，器件整体尺寸仅为10mm×7mm×7mm。器件能够在提供较低的工作电压和调制频率下即可得到准确的气体浓度检测数据，不仅可以降低传感器的功耗，还有着较高的准确度。综上，本发明专利技术具有显著的体积优势、响应速度快、重复性好、成本低、灵敏度高等优点，非常适合日常生活的各种使用环境中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于环境气体检测领域，基于光声光谱技术，具体提供一种小型化非谐振式光声co2传感器及检测方法。

技术介绍

1、co2不仅作为空气中重要组成部分之一，而且是一类对大气影响较大的温室气体。随着二氧化碳浓度的增加使得全球气候变暖，导致极端天气事件频率增加，影响人类的生活和生产活动。空气中过高的二氧化碳浓度也可能会导致头晕、嗜睡、注意力不集中等症状，对人们的日常生活健康造成影响，降低工作效率。目前大多数co2气体传感器由于其检测原理和结构设计等原因使得器件体积较大，难以运用于日常生活使用中；因此研制一种小型化、高灵敏度、重复性好的co2气体传感器对提高人们日常生活中的空气质量有着重要的意义。

2、常见的co2气体传感器主要包括电化学气体传感器和红外气体传感器，其中电化学气体传感器有着几个显著的缺点：第一、电化学气体传感器对温度、湿度等环境条件较为敏感，环境变化可能会影响传感器的准确性和稳定性，第二、电化学传感器中使用的化学物质可能会随着时间的推移而被耗尽，从而导致传感器性能逐渐下降，最终需要更换传感器或进行校准。对于红外气体传感器又分为ndi本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种小型化非谐振式光声CO2传感器，包括：控制模块、激励模块、非谐振式光声池2和声波检测模块；所述控制模块包括：函数发生器和MOS开关控制电路，所述激励模块包括：MEMS红外光源4和滤光片3，所述声波检测模块包括：MEMS麦克风5和锁相放大器，所述滤光片设置于MEMS红外光源上，所述MEMS红外光源和麦克风均置于非谐振光声池内且位于底部位置。一种小型化非谐振式光声CO2传感器，所述非谐振式光声池2顶部中心开有一透气孔，所述透气孔上覆盖防水透气膜1。

2.按权利要求所述小型化非谐振式光声CO2传感器，其特征在于，所述MEMS红外光源采用smd封装，所述滤光片置于MEMS红外...

【技术特征摘要】

1.一种小型化非谐振式光声co2传感器，包括：控制模块、激励模块、非谐振式光声池2和声波检测模块；所述控制模块包括：函数发生器和mos开关控制电路，所述激励模块包括：mems红外光源4和滤光片3，所述声波检测模块包括：mems麦克风5和锁相放大器，所述滤光片设置于mems红外光源上，所述mems红外光源和麦克风均置于非谐振光声池内且位于底部位置。一种小型化非谐振式光声co2传感器，所述非谐振式光声池2顶部中心开有一透气孔，所述透气孔上覆盖防水透气膜1。

2.按权利要求所述小型化非谐振式光声co2传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李子恒，王韬，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：