【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅行业补充氢密封填料,更具体地说涉及一种多晶硅行业氢气压缩机密封填料。
技术介绍
1、目前多晶硅行业中,大多数企业都采用西门子法生产多晶硅,这种方法的原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。多晶硅生产中需要用氢气压缩机压缩氢气,提供反应压力和输送氢气。
2、填料是氢气压缩机工作过程中的主要密封元件,在氢气压缩机的压缩工作过程中,可减少气缸中的高压气体通过活塞杆向下泄漏。填料部件性能的优劣直接影响氢气压缩机的最终排气量和排气压力,是氢气压缩机的一个重要部件之一。
3、如图6所示,其为现有技术中的一种常规填料,其从左往右依次包括:减压环1组、主密封环5组、高压漏气室1组、高压漏气密封环2组、充氮吹扫室1组、双向密封环3组、低压漏气室1组、低压密封环1组,总共15组。
4、此种填料设计,针对普通氢气工况具备良好的密封性能,能保障设备长周期的运行。但在多晶硅行业,往复式补充氢压缩机运行介质氢气+氯硅烷+少量硅粉,此种工况对往复式压缩机来说相对较恶劣,
...【技术保护点】
1.一种多晶硅行业氢气压缩机密封填料,其特征在于,包括从左往右依次设置的一组减压环(1)、八组主密封环(2)、一组高压漏气室(3)、二组主密封环(2)、一组低压密封环(4)、一组充氮吹扫室(5)、二组低压密封环(4)、一组低压漏气室(6)和一组低压密封环(4);
2.如权利要求1所述的氢气压缩机密封填料,其特征在于,所述高压漏气室(3)对应的填料盒(7)上设置有高压漏气引出通道(10),所述高压漏气引出通道(10)连通至所述高压漏气室(3)内。
3.如权利要求1所述的氢气压缩机密封填料,其特征在于,所述充氮吹扫室(5)对应的填料盒(7)上设置有
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅行业氢气压缩机密封填料,其特征在于,包括从左往右依次设置的一组减压环(1)、八组主密封环(2)、一组高压漏气室(3)、二组主密封环(2)、一组低压密封环(4)、一组充氮吹扫室(5)、二组低压密封环(4)、一组低压漏气室(6)和一组低压密封环(4);
2.如权利要求1所述的氢气压缩机密封填料,其特征在于,所述高压漏气室(3)对应的填料盒(7)上设置有高压漏气引出通道(10),所述高压漏气引出通道(10)连通至所述高压漏气室(3)内。
3.如权利要求1所述的氢气压缩机密封填料,其特征在于,所述充氮吹扫室(5)对应的填料盒(7)上设置有气体引入通道(11),所述气体引入通道(11)连通至所述充氮吹扫室(5)内。
4.如权利要求1所述的氢气压缩机密封填料,其特征在于,所述填料盖(...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭晓冬,晏涛,李春洋,杨加平,张俊,袁志林,王仕伍,周万江,蓝波,
申请(专利权)人:四川永祥新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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