【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体制备设备,尤其涉及一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛。
技术介绍
1、水平布里奇曼法是一种用于生长单晶体的方法。它通常用于制备半导体材料和其他晶体材料,以用于电子器件、光学器件等应用。
2、在水平布里奇曼法中,晶体生长的过程发生在一个坩埚中,坩埚中含有原始晶体材料的固体。坩埚首先被加热,以将材料熔化,然后逐渐降温,形成单晶体的生长区域。通过控制温度梯度和降温速率,可以实现单晶体的有序生长,使晶体具有良好的结晶质量。
3、晶体生长对温度有较高的要求,因而需要控制每个区域内的温度稳定,申请人检索到了一些现有技术,例如专利公开号为cn205382225u的中国专利,其在使用时通过上下两组温区分隔板对炉体内加热的区域进行分隔,但是上下两组温区分隔板之间需要留出供船型坩埚移动的空间,从而不同区域之间的热量会通过船型坩埚移动的空间进行流动,从而导致炉体内空间温度趋于一致性,进而需要外部因素介入对各区域内的温度进行控制,使得各区域内的温度上升或下降,维持温度需要消耗大量的能源,增加了晶体制备的成本。
/>技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛,包括炉体(1)和船型坩埚(14),其特征在于,所述炉体(1)内固定安装有截面呈框型结构的隔热槽(2),隔热槽(2)内固定安装有多组加热管(3),所述隔热槽(2)内固定安装有多组成对存在的第一隔热板(5)和第二隔热板(6),每组第二隔热板(6)上均转动安装有与第一隔热板(5)接触的第三隔热板(7),所述船型坩埚(14)设置在底炉体(1)上且炉体(1)上设置有带动船型坩埚(14)移动的动力组件(16),所述船型坩埚(14)的移动轨迹从隔热槽(2)中穿过。
2.根据权利要求1所述的一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛,其特征
...【技术特征摘要】
1.一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛,包括炉体(1)和船型坩埚(14),其特征在于,所述炉体(1)内固定安装有截面呈框型结构的隔热槽(2),隔热槽(2)内固定安装有多组加热管(3),所述隔热槽(2)内固定安装有多组成对存在的第一隔热板(5)和第二隔热板(6),每组第二隔热板(6)上均转动安装有与第一隔热板(5)接触的第三隔热板(7),所述船型坩埚(14)设置在底炉体(1)上且炉体(1)上设置有带动船型坩埚(14)移动的动力组件(16),所述船型坩埚(14)的移动轨迹从隔热槽(2)中穿过。
2.根据权利要求1所述的一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛,其特征在于,多组所述加热管(3)分为上下两排均匀分布在隔热槽(2)内,每排加热管(3)均沿着隔热槽(2)的长度方向分布。
3.根据权利要求1所述的一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛,其特征在于,所述隔热槽(2)内上底面上固定安装有多组与第二隔热板(6)间隔分布的温度传感器(4),多组温度传感器(4)分别检测被第二隔热板(6)、第一隔热板(5)分隔的不同区域内的温度。
4.根据权利要求1所述的一种布里奇曼...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗毅,龚瑞,王玉,刘照俊,
申请(专利权)人:安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。